本公司業代理美國honeywell霍尼韋爾空氣質量流量傳感器
空氣質量流量傳感器有一個由加熱器與溫度敏感元件組成的薄膜,隔熱的電橋式結構。該電橋式結構對流過芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應。
電源電壓:8Vdc至15Vdc
工作溫度:-25攝氏度至85攝氏度(-13F-185F)
介質相容性:僅限於乾燥氣體
AWM2000系列微橋型空氣質量流量傳感器是一個無源器件,由2個惠斯通電橋組成,並具有雙向傳感的能力,按照技術要求,工作時需要一個加熱器控制電路,和一個傳感電橋饋電電路。傳感器中沒有這兩個電路,需用戶自己設計。差動放大器是傳感電橋一個有用的接口。它可用來對傳感器輸出引入增益和電壓補償。
信號調節:非放大型(輸出-44,5mVdc至44,5mVdc)
壓力孔型式:直通型
傳感器電阻:5K歐
流量/壓力范圍 參考型號
+_200 sccm AWM2100V
+-4.0英寸水柱(10 mBar) AWM2200V
+-1000 sccm(1 SLPM)(每分鐘1標準升) AWM2300V
AWM3000系列如同2000系列,是由雙惠斯頓電橋控制空氣流量的測量,該AWM3000系列為放大型,所以,它可用來對傳感器輸出提高增益和引入電壓補償。加熱器控制電路和傳感電橋饋電電路都集成在傳感器中。
信號調節:放大型(輸出1 Vdc至5 Vdc)
壓力孔型式:直通型
流量/壓力范圍 參考型號
+_200 sccm AWM3100V
+_2.0英寸水柱(5 mBar) AWM3200V
+_0.5英寸水柱 AWM3201CR
+_1000 sccm(1 SLPM) AWM3300V
+_1000 sccm(1 SLPM)雙向 AWM3303V
AWM40000系列微橋型空氣質量流量傳感器根據傳熱原理工作。空氣質量流量橫穿過傳感器元件的表麵。輸出電壓根據通過傳感器進出口的空氣質量流量或其他氣體質量流量成比例地變化。特殊設計的外殼精確地引導和控制空氣流量橫穿過微結構傳感元件。組件的機械設計使它能容易地安裝在印刷電路板上。
微橋型空氣質量流量傳感器內含有先進的微結構技術獨特的矽芯片。它含有一個由加熱器和溫度敏感元件組成的薄膜,隔熱的電橋結構。該電橋結構對流過芯片的空氣或其它氣體的流量有靈敏快速的反應。定位在中央加熱元件兩側的雙傳感元件會批示流向以及流率(量)。微光微調的厚膜和薄膜電阻器使一臺器件與下一臺器件之彰有相容的互換性。
AWM40000系列集中安裝多路測量設計,高的共模壓力(陶瓷管型)及寬工作溫度范圍(125度對於非放大型)擴展瞭應用范圍。
壓力孔型式:歧管
信號調節 流量范圍 參考型號
非放大型(8.5 mV) +_25 sccm AWM42150VH
非放大型(54.7 mV) +_1000 sccm(1 SLPM) AWM42300V
放大型(1 Vdc至5 Vdc) +_1000 sccm(1 SLPM) AWM43300V
放大型(1 Vdc至5 Vdc) +_6 SLPM AWM43600V
AWM5000系列-高流量
AWM5000系列微電橋型空氣質量流量傳感器具有一個提供文丘裡型流動方式的外殼。這類傳感器測量的流量高達每分鐘20標準升(SLPM),同時隻產生一個最大2.25英寸水柱的微壓降。微電橋芯片是與氣流直接接觸的。從而大大降低瞭因孔板或旁路通道堵塞而帶來(測量)的誤差的可能性。
堅實的塑性組件設計能承受高達50 psi的共模壓力,而且小型傳感元件允許有100 q 的沖擊力而不會影響其性能。所包括的“AMP”兼容的連接器在要求高的應用中能提供可靠的連接。
每臺AWM5000型傳感器都含有放大、線性化、溫度補償和氣體校準的電路。一個1至5 Vdc的線性輸出可用於所有列於表內的傳感器,與流量范圍(5,10,15或20 SLPM)或校準用氣(氨氣、二氧化碳、氧化亞氨或氬氣)無關。所有的校準為激光校準,大大增強瞭器件的一致性。
信號調理:放大型(1 Vdc至5 Vdc)
壓力孔形式:螺紋連接,1/4度 NPT
輸出接頭:
引腳1+電源電壓
引腳2接地
引腳3未連接
引腳4輸出電壓
外殼底部的箭頭流向
流量/壓力范圍 參考型號
0 SLPM至5 SLPM(N2校準) AWM5101VN
0 SLPM至10 SLPM(N2校準) AWM5102VN
0 SLPM至20 SLPM(CO2校準)AWM5104VC
0 SLPM至20 SLPM(N2校準) AWM5104VN
AWM700系列-高流量旁路設計
AWM700系列微電橋型空氣質量流量傳感器配有一個專門設計的旁路流通外殼,可提供在線流量測量。該傳感器能測量高達每分鐘200標準升(SLPM)的流量,在這同時,一般會產生1英寸水柱的壓降。AWM700型組件小巧且具有測量高流量范圍的性能。
信號調理:放大型(1 Vdc至5 Vdc)
壓力孔形式:錐形,22mm
流量/壓力范圍 參考型號
+200 SLPM(單向) AWM720P1
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