一、小流量氣體質量流量傳感器-FSG4000系列主要特性:
1)傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
2)傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證瞭傳感器的高精度計量
3)在單個芯片上實現瞭多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
4)傳感器的零點穩定度高
5)全量程高穩定性
6)全量程高精確度和優良的重復性
7)低功耗
8)低壓損
9)響應時間快
二、小流量氣體質量流量傳感器-FSG4000系列典型應用:
適用於小流量氣體質量的流量測量。
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