MDE 881器件/波導操縱臺
MDE 881器件/波導操縱臺主要應用於光纖束或光纖陣列與器件的輸入與輸出端的對準
l 6軸獨立操縱，無交叉影響，波導位置直接讀數
l 快速齒輪驅動，方便使用
l 穩定性好，無需光學平臺
l 集成兩個20nm靈敏度的MDE122撓性平臺
l X行程40mm， Y行程25mm，Z行程6mm，分辨率2μm
l θx與θz范圍±4度，分辨率1 arc second
2維上方
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