我們提供的服務：
1半導體、Low-E玻璃、工具鍍膜等鍍膜設備加裝Polycold，排管設計安裝。
2 Polycold維修服務，解決Polycold內漏、外漏、壓縮機等問題。
3提供Polycold專用冷媒。
可提供服務產品型號：
1美國Brooks所有POLYCOLD型號，如：PFC-550HC、PFC-550LT、PFC-552HC、
PFC-670HC、PFC-672HC、PFC-1100HC、PFC-1100LT、PFC-1102HC
Model | Max Load (Watts) | Pumping speed(l/s) | Operating Pressure(torr) |
550 HC | 1000 | 74,500 | 6*E-9 |
550 LT | 400 | 37,250 | 4*E-10 |
552 HC | 1000 | 74,500 | 2*E-9 |
670 HC | 1500 | 104,300 | 6*E-9 |
672 HC | 1500 | 104,300 | 6*E-9 |
1100 HC | 3600 | 298,000 | 1.5*E-8 |
1100 LT | 800 | 74,500 | 1.5*E-12 |
1102 HC | 3600 | 298,000 | 3*E-8 |
2美國Telemark低溫水汽捕集系統，如：TVP3500、TVP2000、TVP1000
| TVP1000 | TVP2000 | TVP3500 | ||
最大負荷(Watts) | 1,000 | 2,000 | 3,500 | ||
最大抽速（l/sec） | 50,000 | 90,000 | 220,000 | ||
極限真空 | 2×10-8(torr) mbar | 2×10-8(torr) mbar | 2×10-8(torr) mbar | ||
電源要求 | 380-440V 3PH，50/60Hz
200-230V 3PH，50/60Hz | 380-440V 3PH，50/60Hz 200-230V 3PH，50/60Hz | 380-440V 3PH，50/60Hz 200-230V 3PH，50/60Hz | ||
最高冷卻水耗量 | 5L/min @ 15oC 10L/min @ 25oC 20L/min @ 32oC | 6L/min @ 15oC 12L/min @ 25oC 30L/min @ 32oC | 12 L/min @ 15oC 24 L/min @ 25oC 38 L/min @ 32oC | ||
最大電流量@200-230 VAC | 冷卻：30 Amp 運行：15 Amp 待機：10 Amp | 冷卻：60 Amp 運行：30 Amp 待機：30 Amp | 冷卻：90 Amp 運行：58 Amp 待機：29Amp | ||
最大電流量@380-440 VAC | 冷卻：15 Amp 運行：7.5 Amp 待機：5 Amp | 冷卻：35 Amp 運行：18Amp 待機：15 Amp | 冷卻：60 Amp 運行：38Amp 待機：15 Amp | ||
重量 | 243KG | 380KG | 490KG | ||
冷卻水接口 | 3/4” BSP female & hose barbs | ||||
冷凝管連接接口 | 1/2” Parker UltraSeal | ||||
客戶案例,某半導體公司濺射鍍膜機加裝Polycold
1設備基本情況：
1）客戶鍍膜設備真空室內部無預留盤管（真空室內部如圖2）；
2）真空室底部有多個直接32.5mm孔，可用於安裝連接盤管的Feedthrough；
圖3（真空室底部）
3）客戶深冷機型號為：PFC-1100LT,生產廠傢為美國Brooks，無外部排管，內部冷媒壓力為180Psi，壓力表顯示如下圖
圖5（生冷機壓力表）
三、項目設計：
1內部盤管設計：
內部盤管的設計根據客戶鍍膜設備真空腔室實際情況來設計，將內部盤管安裝於真空室底部，避開的電子槍，盤管長度設計為12-15m。具體設計示意圖如下（圖6）：
圖6（內部盤管佈局示意圖）
2 Feedthrough設計：
Feedthrough是該項目的一個關鍵部件，主要作用是將深冷機（polycold）外部冷媒盤管與內部盤管連接，並且保證Feedthrough連接處及焊接處無漏點。Feedthrough安裝需利用真空室底部預留孔，Feedthrough示意圖如下（圖7）
圖7（Feedthrough示意圖）
3外部盤管設計：
外部盤管根據深冷機與鍍膜機之間的距離及場實際情況來設計。
四、項目具體實施
1內部盤管的安裝情況：
內部盤管部件根據真空室的時間情況來佈局，最終確定最合理的佈局方案，既保證盤管的長度要求（長度為：1300mm），又不能影響到真空室內的其他部件（如：電子槍、加熱源、其他傳感器），最終盤管佈局如圖
2 Feedthrough連接
3外部盤管安裝及保溫
外部盤管安裝要求：佈局合理，美觀；保溫材料包裹要全部包住外部盤管，無死角，外觀要美觀。具體完成情況如下圖：
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