精密度花崗石機座，龍門式結構，包括高精度（Z軸）調整裝置；
高精度測臺：采用穩定的整體是花崗巖制造，線性導軌，測臺上配有玻璃工作平臺；
三軸金屬光柵。數頻精度0.0001mm；
高分辨率黑白CCD攝像機；
遠焦光路LED透射光源；
環形LED表麵光源；
三軸CNC伺服電機控制系統；
高配置控制和測量計算機；
正版Windows XP操作系統；
高精度1.5×大工作間距遠焦平場物鏡；
3D測量及數據處理軟件SAPHIR基礎功能。
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