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旋轉臺 | 直徑：0.01um~75um |
| 旋轉精度：（0.04+6H/10000）um（H=Probing height測量高度） |
| 旋轉速度：6rpm |
| 工作直徑：150mm |
| 中心范圍：±3mm |
| 升降范圍：±1° |
| 最大探測直徑：280mm |
| 最大工件直徑：440mm |
| 最大工件重量：20kg |
垂直圓柱 | 位移范圍：280mm |
| 粗/微進給：粗進給 約30mm/rev 微進給 約1mm/rev |
| 最大測量高度（OD）：280mm |
| 最大測量高度（ID）：280mm |
| 最大測量深度：100m2m（使用標準測頭時12AAB681） |
水平支臂 | 位移范圍：165mm |
| 粗/微進給：粗進給 約30mm/rev 微進給 約1mm/rev |
空氣補給 | 空氣壓力：390kPa |
| 空氣消耗：每分鐘45升（正常情況下） |
探頭與測針 | 測量范圍：±1000um |
| 測量力：70至100mN（7至10gf） |
| 測量方向：雙方向切換測頭 |
| 標準測頭（12AAB681）：硬質合金球ф1.6mm |
性能參數 | |
| 滿刻度范圍：±1000um、±500um、±200um、±100um、 |
| ±50um、±20um、±10um、±5um |
| 數字濾波：2CR-75%/50%，2CR-75%/50%（相位校正）， |
| Gaussian-50% |
| 截止值：低通：15upr，50upr，150upr，500upr |
| 帶通：15-150upr，15-500upr，50-500upr |
| 參考圓：LSC，MZC，MIC，MCC |
| 資料分析項目：圓度、同心度、同軸度、圓周跳動、垂直度、 |
| 壁厚偏差、平麵度、平行度 |
| 記錄陪率：5X-50000X（可按13段指定），自動 |
| 數據采樣點：1800點/轉 |
| 可測量截麵個數：大於5 不大於100 |
| 顯示：背光液晶LCD（尺寸120*90mm） |
| 打印機：熱敏行式打印機 |
| 軟盤驅動器：3.5″軟盤驅動器（內置） |
| 電源供給：100V-240V AC，50/60Hz |
| 電源消耗：40VA最大（不含PC） |
尺寸 | 主裝置： 660*415*620mm |
| 空氣過濾裝置：210*130*190mm |
重量 | 主裝置：40kg |
| 空氣過濾裝置：2kg |
標準附件 | |
| 1、標準測頭（12AAB681） |
| 2、增益調整膜（350365） |
| 3、用戶手冊 |
選配配件 | |
| 1、快速卡盤（211-032） |
| 2、參考半球（211-016） |
