光學比較機、0.1μm光學扭簧比較機
分度值(mm) | 0.0001 |
示值范圍(mm) | ±0.01 |
示值誤差(μm) | ≤±0.20 |
示值變動性 | ≤1/3分度 |
測力 | ≤2.5N |
測力變化 | ≤0.45N |
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光學比較機、0.1μm光學扭簧比較機
分度值(mm) | 0.0001 |
示值范圍(mm) | ±0.01 |
示值誤差(μm) | ≤±0.20 |
示值變動性 | ≤1/3分度 |
測力 | ≤2.5N |
測力變化 | ≤0.45N |