應用范圍：光電輪廓機的應用范圍很廣，它主要用於測量各種精密加工零件表麵的微觀三維結構，如表麵粗糙度；零件表麵的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說，如量塊、光學零件表麵的粗糙度；標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結構；鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌；磁（光）盤、磁頭表麵結構測量；矽片表麵粗糙度及其上圖形結構測量等等。由於機器測量精度高，重復性好，具有非接觸和三維測量等特點，並采用計算機控制和快速分析、計算測量結果，本機器適用於各級測試、計量研究單位，工礦企業計量室，精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。

機器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習慣；
應用CMOS代替CCD，省去圖象卡並提高瞭質量；
用低壓電源代替高壓電源，節省瞭機器成本；
用國產的代替德國進口壓電陶瓷，解決瞭關鍵部件的進口難題；
增加瞭自動步距和亮度校正程序，同時增加瞭局部放大三維立體圖功能；

 表麵微觀不平深度測量范圍：130~1nm
 測量的重復性：sRa≤0.5nm
 測量精度：8nm
 物鏡倍率：40X
 數值孔徑：0.65
 機器視場  目視：f0.25mm
               攝象：0.13X0.13mm
機器放大倍數  目視：500X 
                    攝象（計算機屏幕觀察）：2500X
  接收器測量列陣：10001000
  象素尺寸：5.2X5.2nm

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