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INFICON的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個小型、輕便與經濟的規管中,測量壓強從2*10 -6至1000毫巴(1.5*10 -6~750Torr)。HPG400提供高度的重復性和再現性壓強測量,用於精確的濺射過程的壓強控制。
典型應用:
1、半導體制造中的濺射工藝應用,電子學的媒體工業
2、工業鍍膜
3、在低至高真空范圍中系統的一般真空測量和控制
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