復合真空計能夠滿足寬量程范圍內的真空測量的需要,其中低真空部分用熱偶規,高真空部分用電離規。該機器能夠自動實現熱偶規和電離規在同一被測系統內連續測量與控制,控制點可通過麵板任意設定,可實現點控與區域控制,設置後具有掉電保護功能,簡單,方便,控制精度高,在連續的測量過程中,高真空部分可由低真空自動啟動,提高瞭系統的自動化和智能化程度。
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