XG-1P壓阻真空計使用壓阻真空變送器,測量與氣體成分無關,是絕對測量方式。測量精度高,一致性,重復性好。壓阻真空變送器結構牢靠,使用壽命長可廣泛用與粗低真空測量。
壓阻真空變送器是利用單晶矽的壓阻效應制成的一種力敏器件。它以單晶矽為基體,按特定晶麵,根據不同的受力形式分別加工成彈性應變元件,在彈性應變元件的適當位置,用集成電路工藝技術擴散四個等值電阻,組成惠斯登電橋。當不受壓力作用時,電橋處於平衡狀態;當受到壓力作用時,一對橋臂電阻變大,另一對變小,電橋失去平衡。若對電橋加一恒定電流(電壓),便輸出對應於所加壓力的電壓信號,從而達到測量氣體壓力的目的。
由於這種傳感器的感受、敏感和檢測三部分同由一個元件實現,沒有中間轉換環節,所以不重復性和遲滯等誤差極小。同時由於矽單晶本身剛度很大,形變很小,保證瞭良好的線性度,因此綜合精度很高。
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