真空規管

真空規管，真空規管就是測量真空度的傳感器。真空規管測量出來的信號傳輸到真空計上經過放大處理就可以顯示出被測真空環境的真空度。主要應用於真空環境的真空度測量領域，如真空鍍膜，太陽能集熱管制作，真空冶煉等。

規管的分類

1、熱偶規

　　目前國內的熱偶規主要有51系列，53B/54D等。主要應用於低真空測量。

2、皮拉尼系列（電阻規管）

　　目前國內的電阻規型號主要是52T系列。主要以用於粗低真空測量。

PG-500配合表頭使用

PG-600通訊型數字信號直接接入PC機

PG-700開關型可以直接設定控制點，進行控制

3、熱陰極規管

　　主要型號有ZJ-2系列，ZJ-10系列，ZJ-27系列，B-A規等。

　　該型規管主要應用於高真空測量。

4、冷陰極規管（冷規）

如磁控規等

ZJ-2真空規管型熱陰極電離真空規是由DM-305玻璃制成的，排氣管直徑為15.5±0.5mm，其量程為10-1～10-5Pa。

技術指標

陽極電壓 200V

收集極電壓 -25V

發射電流  5mA

規管常數  0.15Pa-1

ZJ-53B穩定型熱偶規結構尺寸與53型玻璃規一樣，但由於在制管過程中采用瞭鈍化工藝，因此具有抗氧化、抗污染、性能穩定等優點，測量精度高於一般型熱偶規，重復性好。

技術指標

1.加熱電流   28±1.5mA

2.排氣管直徑  15.5mm±0.5mm

3.響應時間不大於3秒

4.量程    4×102～1×10^-1pa

5.在1-50Pa壓強范圍內，單規管校準曲線與標準曲線相比，平均偏差不超過±15%

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