INFICON UL1000 型氦檢漏機尤其適用於元件精確檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速於精確的結果，快速啟動，移動性和系統的可靠性。 |
UL1000符合做微電子工業市場的要求。其特點從堅固的金屬外殼並帶有適用於潔凈室的輪子，還有I-CAL(智能化漏率計算系統),無與倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用於消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間 平衡的程序。 |
系統軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。並可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統不會乾擾通常清潔室中從天花板至地麵的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低並消除氦污染。 |
UL1000具有可轉動的控制界麵，裝在機器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果於狀態信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。 |
應用： |
 半導體工藝設備的維護，該設備本身帶或未帶有真空泵 |
工藝氣體系統的檢測與安裝 |
元器件在組裝前的漏率測試 |
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合 |
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技術參數 |
最小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標準） | ＜5×10-12mbar.l/s | 最小可檢漏率（吸入器模式） | ＜3×10-8mbar.l/s | 入口壓強 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar | 在抽空過程中的抽速 | 25立方米/小時 | 入口壓強對氦氣抽速 粗檢模式 精檢模式 超精檢模式 | 8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒 | 可檢質量數 | 2、3、4amu, 氫，3氦，氦 | 電源電壓 | 110－120V；220－241V | 重量 | 110公斤；242磅 | 尺寸，包括手把（長×寬×高） | 1068×525×850毫米 |
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