用於太陽能電池材料的構造解析·質量管理。
●Si等太陽能電池材料中的雜質濃度的高靈敏度定量分析。
●半導體材料的表麵分析。
●通過真空對應光學系不受大氣影響的高靈敏度·高精密度分析（取決於機種）。
Tensor27／37 | Vertex70／70V | Vertex80／80V | |
光譜范圍 | 7,500～370cm-1（Tensor27） 15,000～370cm-1（Tensor37） | 8,000～370cm-1（標準） 28,000～50cm-1（選項） | 8,000～370cm-1（標準） 50,000～5cm-1（選項） |
分辨率 | 1cm-1（標準） 0．5cm-1（選項） | 0.2cm-1（標準） 0.4cm-1（選項） | 0.2cm-1（標準） 0.07cm-1（選項） |
靈敏度 | 45,000：1＠4cm-1、1分 | 50,000：1＠4cm-1、1分 | 50,000：1＠4cm-1、1分 |
真空光學系 | － | Vertex70V | Vertex80V |
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