型號 | 分辨率 | 有效行距 | 最大工作速度 | 重復精度 | 準確度（µm) | |||
50～500mm | 50～600mm | |||||||
標準 | 高精度 | 標準 | 高精度 | |||||
JCXE1 | 1µm | 50～1000mm | ≥20m/min | 1µm | ±5µm | ±3µm | ±8µm | ±5µm |
JCXE2 | 5µm | 50～1000mm | ≥60m/min | 5µm | ±5µm | ±3µm | ±8µm | ±5µm |
JCXE0.5 | 0.5µm | 50～1000mm | ≥10m/min | 0.5µm | ±5µm | ±3µm | ±8µm | ±5µm |
JCXE0.2/0.1 | 0.2/0.1µm | 50～1000mm | ≥10m/min | 0.2/0.1µm | ±5µm | ±3µm | ±8µm | ±5µm |
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