工藝流程
1.1 壓縮、預冷及凈化
原料空氣進入螺桿式空氣壓縮機壓縮到0.8MPa(G)，壓縮後空氣進入空氣預冷系統把空氣冷卻到8～10℃以下。出預冷機組後的空氣進入分子篩純化系統，空氣在純化器中脫除H2O、CO2、C2H2及其它碳氫化合物，出純化器的空氣，其露點低於-65℃，CO2含量小於1PPm。
純化系統中的吸附器由二臺立式容器組成，一臺吸附器進行吸附，另一臺吸附器由來自冷箱的乾燥污氮經電加熱器加熱後進行再生和冷吹，兩臺吸附器間的切換由手動碟閥定期完成，吸附劑采用13X分子篩。
1.2 空氣精餾
氧的制取：出純化系統的加工空氣分成兩路，其中大部份進入冷箱內的主換熱器，在主換熱器中被返流的產品氧氣、氮氣以及污氮等低溫氣體冷卻到接近露點。這些接近露點的空氣進入下塔，在下塔中與下塔的回流液進行熱質交換，在下塔的頂部得到純氮，在下塔底部是富氧液空。下塔回流液是由設在下塔和上塔之間的冷凝蒸發器提供的。下塔頂部的氣氮進入冷凝蒸發器冷凝成液氮，作為下塔的回流，同時放出冷凝潛熱使冷凝蒸發器另一側的液氧得到蒸發，成為上塔精餾的熱源。
出純化系統的加工空氣的另一部份，先經膨脹機驅動的增壓機增壓，然後經增壓後冷卻器以及主換熱器冷卻，進入膨脹機膨脹，膨脹後空氣送入上塔參與上塔精餾。下塔抽出的富氧液空經過冷器過冷後進入上塔，是上塔精餾的進料空氣。從下塔頂部抽出液氮，經過冷後作上塔的回流。作為上塔精餾的產品，上塔底部產出純度為98%的氧氣，上塔頂部產出氮氣。上塔產出的產品氧氣、氮氣及抽取的污氮均經主換熱器復熱後出冷箱。復熱後的污氮作為分子篩純化系統用的再生氣及冷吹氣。
1.3 冷量制取
為瞭把空氣分離成產品氧氣和氮氣，為瞭平衡空分裝置的冷損，空分裝置需要制冷量。本套裝置的冷量主要是靠膨脹機產生的。出純化系統的空氣的一部份，進入由膨脹機同軸拖動的增壓機增壓，增壓後的空氣經增壓後冷卻器，主換熱器冷卻到膨脹前溫度，進入空氣軸承透平膨脹機膨脹，制取裝置所需的冷量，膨脹後空氣進入上塔參與精餾。
1.4 產品氣體
本套設備采用內壓縮工藝流程，氣態氧氣以20MPa（G）的壓力從冷箱送出，氧氣純度大於99.6%。氣態氮氣以20MPa（G）的壓力從冷箱送出，氮氣純度大於99.9%。
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