PSA制氧機

制氧系統主要由原料空氣及處理系統（一般配置：空氣壓縮機、活性炭過濾器、一級過濾器、空氣冷乾機、二三級精密過濾器、空氣緩沖罐及自動排水裝置、管道等）、制氧主機、氧氣增壓機等部分組成。原料空氣經吸入口過濾器除掉灰塵顆粒後，被空氣壓縮機增壓至0.5MPa，首先由活性炭過濾器除空氣機剛開始時壓縮空氣夾帶的少量油份，經活性炭過濾器初步除油，再經一二三級精密過濾器除油，空氣冷乾機冷凝除水，而進入制氧主機的一隻吸附器內。吸附器內裝填吸附劑，其中水分、二氧化碳及少量其它氣體組分在吸附器入口處被裝填於底部的活性氧化鋁所吸附，隨後氮氣被裝填於活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣（包括氬氣）為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產品氣排至氧氣平衡罐，經氧氣壓縮機增至所需的用氧壓力，送入氧氣儲罐至後續用氧工段使用

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