產品簡介
我公司於2014年上市的超高穩定微波源采用智能芯片控制，用戶通過設置參數後，系統控制由智能芯片完成，控制精度高、穩定性好、操作簡單。系統采用聯鎖控制方式，能有效地防止誤操作，對水、溫度、市電等條件異常時有完善的保障系統，確保正常、安全工作。系統還提供外接聯鎖控制保護接口，保護操作人員和負載安全。系統采用控制櫃與功率頭分離結構，方便用戶連接不同類型的微波工作室（或腔體）。
高穩定程控微波源采用觸摸屏控制方式，為用戶提供兩種操控模式，即簡易操作模式和用戶編程操作模式。
高穩定程控微波源適合與微波等離子體化學氣相沉（MPCVD）系統、微波等離子鍍膜系統、微波ECR系統、微波等離子源系統、微波精細陶瓷燒結系統等配套，為不同的微波反應腔體提供精確、穩定的微波功率源。
2.系統組成及技術指標
2.1.系統組成：為方便連接各種不同類型的波導系統，本微波源將微波功率頭從電源控制櫃中分離出來，既方便波導連接，也便於安裝操作。
（1）微波功率頭：采用微波磁控管規格型號為2M266 1.5kw/2450MHz±5MHz作為功率源，最大輸出功率為1.5KW。如圖2.1所示。
（2）控制系統：采用智能芯片編程控制，可控制微波輸出功率。采用瞭安全保護系統，保證系統正常、安全地工作。提供負載聯鎖保護接口，能有效地防止誤操作保護操作人員。如圖2.2所示。
（3）傳輸系統(為選配件)：配備有環行器、短負載、手動或電動三銷釘調配器等件。如圖2.3所示。
2.2.主要技術指標：
（1）工作頻率：2450MHz±5MHz。
（2）輸出功率：100W-1500W連續可調（要求三相電壓不平衡最大電壓差不超過5%）。
（3）功率穩定度：電源電壓變化在370～390V范圍，輸出功率為1.5kW時，輸出功率穩定度優於±0.5%，輸出功率紋波優於±0.5%。
（4）控制方式：用智能芯片控制，可編程運行，在系統工作時可在線升、降微波功率。
（5）設定功率顯示、輸出功率顯示和反射功率顯示：MPG-2015D型采用觸摸屏顯示設定功率，並顯示輸出功率。反射功率采用數字顯示表頭顯示。（反射功率采樣頭安裝於短負載上，此短負載部件為選配件）
（6）設備保護系統：具有完善的保護系統，對電源、冷卻水、微波反射、內部打火等異常情況進行自動保護；磁控管各參數自動監測和聯鎖保護；提供外接聯鎖保護接口，含5-12V直流保護輸入端口，工業用戶為220V交流保護輸入端口，用戶在購買設備時請說明用途以備選擇。（註：無外接保護開關時，應將此開關短路。）
（7）系統操作方式：采用觸摸屏操作方式，並提供簡易操作模式和用戶編程操作模式選擇。
（8）輸出波導：BJ-26帶FD-26標準法蘭盤
（9）電源：三相四線 380V/50Hz 三相電源 370V～390V 范圍
（10）功率：4.5KW
（11）接地電阻：5Ω
（12）冷卻水壓：4公斤
（13）冷卻水流量：3升/分
（14）微波泄漏：符合國傢安全標準
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