八十年代後期國內開始研發微波真空乾燥設備，通過多年的努力，到2000年前後，成功的解決瞭低氣壓微波場起弧放電，鋪料層之間加熱溫差，微波場內非接觸測溫等多項難題，從實驗階段跨入工業化生產階段。為食品工程、制藥工程、生物工程、化工工程、材料工程以及農副產品深加工提供瞭一種新型、高效的乾燥設備。
微波真空乾燥的特點：
　　高效： 常規的真空乾燥設備中，（假定真空壓力為7.37kpa，物料脫水溫度為40 ℃，1kg水汽化熱是574大卡），由於在真空場合下，熱量通過對流傳遞十分困難，隻能傳導進行，加熱速度慢，乾燥周期長，能耗大。微波真空乾燥設備采用的是輻射傳能，是介質整體加熱，無需其它傳熱媒介，避免瞭上述缺點，所以速度快，效率高，乾燥周期大大縮短，能耗降低。與常規乾燥技術相比可提高工效四倍以上。
　　加熱均勻： 由於微波加熱是物料裡外同時加熱，物料的裡外溫差小，不會產生常規加熱中出現的裡外加熱不一致的狀況，而使乾燥質量大大提高。 易控： 便於連續生產及實現自動化，由於微波功率可快速調整及無慣性的特點，易於及時控制，便於工藝參數的調整和確定。
　　設備體積小，安裝維修方便：
　　產品質量好： 與常規方法相比，所加工的產品質量有較大幅度的提高。
此外微波設備具有消毒、殺菌之功效，產品安全衛生。保質期可延長。
從以上介紹的特點中，節能、降耗、提高產品質量、安全衛生、設備投資成本低等諸方麵即可看出其經濟效益和社會效益的顯著。在脫水蔬菜加工中，對各種乾燥設備的工藝性能，經濟效益，產品質量等比較結果如表。

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