XY直線電機精密運動平臺_數控機床專用精密運動平臺
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精密直線運動平臺主要特點及技術參數
賽凡系列精密直線運動平臺是金運激光自主研發生產的一款高精密直線運動平臺。產品適用於精密測量檢測系統，直線微調精確定位，噴塗設備，激光加工，光學器件檢測，半導體加工設備，自動化設備、磁盤測試和裝配，貴金屬加工，刀具精密磨削等眾多領域。根據客戶產品切割的高速、高精度加工效果要求，賽凡精密為本次項目提供的是配置X-Y直線工作臺結構方式，以實現對產品的高速、高精度劃線、打孔和切割加工。X-Y直線工作臺采用直線電機運動方式，具有運動精度高、響應速度快、加減速過程短、維護簡單、效率高、可靠性強等特點。
特點:
直線電機帶來的變化
§⊙簡單的機械組合
⊕較少的零件
⊕較快的組裝時間
⊙不需保養，維護
§⊕不需要調整皮帶松勁度
§⊕不需要潤滑齒輪箱或擔心潤滑油流失
⊙馬達直接帶動負載
§⊕零背隙，提高精準度
§⊕少瞭傳動元件，機械結構鋼性更強
§⊕增加響應寬頻，及較快的響應時間
§⊕不需要計算慣量匹配問題
⊙更安靜
⊕最多減少20db的噪音
·賽凡系列精密直線運動平臺采用日本進口驅動器，控制平臺穩定運行，不同的使用環境可以選用不同
類型。如光柵和磁柵，封閉式和開放式
·金運賽凡系列精密直線運動平臺采用日本直線電機技術和生產工藝，經過10多年的使用實踐，實現高
精度、推力平滑，最大推力可達2500N.
·主體材料為硬鋁合金材質，抗腐蝕性更加優越。硬氧化表麵處理使平臺更加不易出現劃痕。高精密加
工的平臺底座采用優質鋁件，經過時效和表麵處理後，抗溫差能力強，精度保證強。和合理的導軌固定方式大大的降低瞭電移臺的俯仰和偏擺，使運動的直線度和平行度有較大提高。底座有標準孔距的螺紋孔和通孔，方便安裝固定。
·進口高精密編碼器，重復定位精度可控制＜0.003mm，直線最大讀取速度4000mm/s，最佳分辨率高達
0.005mm，軸向間隙小，壽命長.重復性的更高精度,可以由編碼器更高分辨率來實現
·優質進口直線導軌C預壓，P精密級，從而保證直線運動行程、直線度、重復精度，承載運動平臺的運
行。
·直線運動工作臺呈特有的十字型結構搭建，上下軸可移動行程分別為500mm，特殊長行程或者大推力平臺及龍門式直線平臺，可以根據客戶要求定制。
·防松和防軸竄結構，有效防止螺桿松動，軸向竄動，有效保證重復定位精度和絕對定位精度，特別適合高速往復使用
·進口光電限位開關，觸發模式NPN和PNP,反應時間短，每個軸配置：左限位1pcs；右限位1pcs；零 位1pcs，需要高重復定位，平臺閉環中內置Z向信號輸出，重復性±0.001mm。
500mmx500mm二維直線運動平臺平麵圖
精密直線運動平臺運用行業及范圍
直線電機的應用廣泛，已經滲入到經濟發展的各個領域當中，對直線電機的需求也將日益增大，應用前景非常廣闊，廣泛應用於民用、工業（精密切割設備和視覺檢測設備）、軍事等行業中。
（1）在精密視覺檢測設備中，如矽片檢測過程要求其運動系統具有較高的精度,實現其中的精密直線運動對整個復合運動平臺至關重要.采用直線電機驅動的方式設計瞭一套精密直線運動平臺,闡述瞭其機械系統和控制系統設計過程.實驗結果和實際應用表明:本平臺比目前采用滾珠絲杠驅動的直線運動平臺具有更高的精度、更大的加速度、運行更平穩和更長的壽命等優點,可以完成矽片檢測過程要求的運動,運動精度滿足瞭應用場合的要求.（3）在半導體行業中，直線電機以其高速、高精度、無污染的特點，廣泛應用於光刻機、IC粘接機、IC塑封機等多種加工設備，而且單臺設備往往需要多臺直線電機。
(2)在數控加工行業中，傳統的“旋轉電機+滾珠絲杠”的傳動形式所能達到的最高進給速度為30m/min，加速度僅為3m/2s。直線電機驅動工作臺，速度為傳統傳動方式的30倍，加速度是傳統傳動方式的10倍，最大可達10g；剛度提高瞭7倍；直線電機直接驅動的工作臺無反向工作死區；由於電機傳動慣量小，由其構成的直線伺服系統可以達到較高的頻率響應。此外，在壓力機、坐標測量機、水切割機、等離子切割機、快速原型機及半導體設備的X-Y工作臺上直線電機都有應用。
光學檢測設備 晶圓檢測機
微米技術及晶圓處理 高速合成熱熔接機
激光加工設備
直線電機組成及配置技術參數介紹
技術參數表
機械特性發生的改變
旋轉電機+滾珠絲杠平臺 直線電機平臺
性能 | 直線電機 | 旋轉電機+滾珠絲杠 |
精度(μm/300mm) | 0.5 | 10 |
重復精度(μm) | 0.1 | 2 |
最大速度(m/s) | 5 | 1.5 |
最大加速度(g) | ＞10 | ＜1 |
靜態剛度(N/μm) | 70～270 | 90～180 |
動態剛度(N/μm) | 160～210 | 90～180 |
平穩性(%速度) | 1 | 10 |
調整時間(ms) | 10～20 | 100 |
壽命(h) | 50000 | 6000～10000 |
※註:重復性的更高精度,可以由編碼器更高分辨率來實現!
以下三款標準電機平臺型號亦可為單軸平臺；
可以根據客戶要求設計各種行程電機平臺。
500*500mm規格
1，設備型號：SFLD B02-0500-0500-G2-3 31-00
下軸上軸 運動行程（mm） 510mm
重復定位精度（mm） ±0.001mm
絕對定位精度（mm） ±0.005mm/500mm
直線度（mm） ±0.005mm/500mm
平麵度（mm） ±0.005mm/500mm
負載 20Kg
最大運動速度（mm/s） 800mm/s
最大加速度（m/s²） 10
垂直度（arc-sec） ±5
供電 1 KW/AC220V/50Hz
建議環境要求 18~25°C，濕度≤70%
400*400mm規格
1， 設備型號：SFLD B03-0400-0400-G2-3 31-00
下軸上軸運動行程（mm） 410mm
重復定位精度（mm） ±0.001mm
絕對定位精度（mm） ±0.004mm/500mm
直線度（mm） ±0.004mm/500mm
平麵度（mm） ±0.004mm/500mm
負載 ≥15Kg
最大運動速度（mm/s） 800mm/s
最大加速度（m/s²） 10
垂直度（arc-sec） ±5
供電 1 KW/AC220V/50Hz
建議環境要求 18~25°C，濕度≤70%
300*300mm規格
1， 設備型號：SFLD B04-0300-0300-G2-3 31-00
下軸上軸運動行程（mm） 310mm
重復定位精度（mm） ±0.001mm
絕對定位精度（mm） ±0.004mm/500mm
特性直線度（mm） ±0.004mm/500mm
平麵度（mm） ±0.004mm/500mm
負載 ≥15Kg
最大運動速度（mm/s） 800mm/s
最大加速度（m/s²） 10
垂直度（arc-sec） ±5
供電 1 KW/AC220V/50Hz
建議環境要求 18~25°C，濕度≤70%
非標直線電機平臺
名稱 雙動子平臺
有效行程 800mm
重復精度 ±1μm
直線度 ±3μm
最大速度 1000mm/s
最大加速度 1 G
最大負載 20kg
重量 60kg
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