加工定制:是 | 種類:化合物半導體 | 用途:半導體 |
為瞭滿足量產上的需求,半導體的電性必須是可預測並且穩定的,因此包括摻雜物的純度以及半導體晶格結構的品質都必須嚴格要求。常見的品質問題包括晶格的錯位(dislocation)、雙晶麵(twins),或是堆棧錯誤(stacking fault)都會影響半導體材料的特性。對於一個半導體元件而言,材料晶格的缺陷通常是影響元件性能的主因。
目前用來成長高純度單晶半導體材料最常見的方法稱為裘可拉斯基制程(Czochralski process)。這種制程將一個單晶的晶種(seed)放入溶解的同材質液體中,再以旋轉的方式緩緩向上拉起。在晶種被拉起時,溶質將會沿著固體和液體的接口固化,而旋轉則可讓溶質的溫度均勻。
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