MUEGGE磁控管
     上海智川工貿有限公司優惠供應德國MUEGGE磁控管、MUEGGE微波電源、MUEGGE微波發生

器、MUEGGE波導元件、MUEGGE微波電源、MUEGGE微波循環裝置、MUEGGE環流器，MUEGGE水負載

，MUEGGE水冷卻單元、MUEGGE微波隔離裝、MUEGGE波導接頭及各種彎頭、MUEGGE磁控管頭、

MUEGGE手動調諧器，MUEGGE自動微波調諧器、MUEGGE微波泄露測量設備等MUEGGE微波元件等。
     MUEGGE長期致力於工業微波加熱系統及相關微波元件的研發、生產工作，其工作頻率分

別為915MHz和2450MHz，輸出功率最小300W，最大可達100KW，我公司所有產品全部在室內安裝

、檢測；另外其可根據用戶需求，為您量身訂做特種的工業微波加熱系統。
MUEGGE公司擁有30年工業微波產品的生產制造經驗，始終為用戶提供最新、最尖端的技術及產

品，我們提供的微波電源、發生器全部由微電腦控制，可實現任何接口的通訊對接。
MUEGGE產品涵蓋瞭從微波工業加熱到等離子應用的多種工業場合，同時還可以為科研機構提供

專用設備。
3KW微控管總成3KW ME0118P-015AB3KW微控管3KW MB2658A-110EA2KW微波頭2KW MH2000S-

218BB3KW微波頭3KW MH3000S-222BB3KW 微波電源3KW MX3000X-125KL 微波電源射頻電源線，

40.68MHZ 60.00MHZ 81.36 100HZ 100MHZ德國射頻電源畜能器液壓畜能器，液壓油缸MUEGGE微

波等離子源/ PECVD/鍍膜微波等離子PECVD
微波鍍膜
微波等離子清洗
微波等離子蝕刻
MUEGGE微波發生器100KW100KW 915MHZ微波發生器MUEGGE微波電源微波電源，2450MHZ

20KWMUEGGE微波頭　磁控管頭緊促型微波頭，適用於等離子行業的用戶MUEGGE微波發生器

5KW915MHZ5KW 915MHZ 微波發生器
用於制藥，木材烘乾，陶瓷處理等R3T等離子蝕刻機/SU-8移除最領先的快速等離子蝕刻技術：

德國R3T高速等離子蝕刻機
等離子蝕刻，乾法蝕刻機，灰化，去膠，SU-8移除，應力消除，遠程等離子源，MEMS（微機械

零件加工），等離子乾法蝕刻，親水性/斥水性改變，表麵糙化處理。型號STP 2020，STP1010

用於小樣板，＞20um/分鐘
MUEGGE磁控管1260W- 2450 MHz
- 1260 W Power Output(matched load)
- Water-cooled anode - Packaged magnet
- Probe output - approx.: 70 % efficiency
UEGGE磁控管2M265-M12WJ3KW 水冷磁控管
MUEGGE磁控管TYPE: 2M130-71 (Hitachi)
2050 W CW Magnetron
MUEGGE磁控管75KWMagnetron
Large Power Magnetron -
For Industrial Applications
Ceramic-metal Construction
75 kW at 915 MHz
All Magnetron Support Equipment Available
MUEGGE磁控管6KW?2450 MHz
?6000 W Power Output (matched load)
?Water-cooled anode
?Packaged e-magnet
?Probe output
MUEGGE水冷磁控管 3KWFEATURES:
- 2455 MHz (+/-15MHz)
- Highest S-band Power Output - 3000W
- 70% efficiency, typical
- Water-cooled anode
- Coaxial launch into WR-340
- permanent magnet
MUEGGE磁控管 MB2568A2KW磁控管，水冷
MUEGGE微波頭　磁控管頭- 2 kW HF-Power output
- Open mounted
- Int.filament transformer
- Int. magnetron, water cooled
- Int. Temperature switch
- Int. Isolator
- Int. Stub-TunerMUEGGE同軸微波發生器 300WHF-POWER : 300W CW / 500W Pulse

(0...100%)
PULSEABLE : Up to 25kHz
FREQUENCY : 2,45GHz +-20MHzMUEGGE同軸微波發生器 500W- Continuous power control
- High efficiency
- Ripple <1% peak-to-peak
- Pulsable up to 25kHzMUEGGE微波等離子系統蝕刻率：
用於SU-8樣板，＞20um/分鐘
用於矽樣板，可以達到90um/分鐘
溫度控制達到120℃
基板尺寸達到460mm*460mm
MUEGGE等離子設備各向同性蝕刻
對於SU8去除超過20um/min
對矽多種樣品達90 um/min
對300mm晶片上光電保護層灰分達到10 um/min
SiN和BPSG：典型1 um/min
熱氧化物：典型250 nm/min
MUEGGE3短截調諧器-功率：3 KW(最大)
-頻率：2450MHz，+/- 50 MHz
-調節量：電壓駐波比（VSWR）10 (1KW)
MUEGGE自動調諧器-調節范圍：VSWR<10:1
-調節精度：1%
-調節速度：1秒
MUEGGE環流器-隔離：26 dB
-輸入功率：6000W
-反射功率：6000W
MUEGGE環流器微波隔離元件
-隔離：最小23 dB
-輸入功率：3000W cw
-反射功率：3000W cw
MUEGGE波導3短截調諧器 型號：MW2009A-260ED
工業微波源
調諧系統
MUEGGE等離子微波電源低壓微波等離子源
實用的設計
小型化設計
廣泛應用
高密度等離子體
高效率
損傷小
容易適配用戶系統
MUEGGE微波等離子系統高頻頻率：2.45GHZ 尺寸：用戶指定
915MHZ 材料：箱體：鋁
5.8GHZ 氣體簇射：鋁
高頻輸入功率：典型2KW/m@100pa
等離子源：石英，Al2O3
處理壓強：典型10pa—100pa 制冷：水冷/風冷結合
等離子體密度：達到1012/[email protected]
連接器：微波：同軸連接器
電子溫度：~2ev
水：擠壓
均勻性：優於5%
MUEGGE波導元件-角度：90度
-半徑：100mm
-功率：30 KW
-頻率：2.45GHz，+/- 30 MHz
-波導尺寸：WR340
-法蘭：UDR26
-材料：鋁
-表麵處理：RAL 7035
-重量：500g
MUEGGE波導元件E型彎頭—90度MUEGGE微波等離子系統微波等離子體CVD設備
高效矽基薄膜太陽能電池的PECVD設備
磁控濺射鍍膜及PECVD設備
在PECVD沉積室主要用於射頻增強
等離子氣相沉積的方法制備各種薄膜。
MUEGGE大功率微波頭2450MHZ 15KW　20KW 30KW
915MHZ　5KW 30KW　50KW 75KW　100KWMUEGGE微波頭　磁控管頭高頻輸出功率：1 KW/ 2 KW/

3 KW
頻率：2.45GHz，+/- 20 MHz
冷卻方式：水冷，最大3升/分鐘
-配備微波隔離器
重量：約17kgMUEGGE等離子微波電源輸出：
連續波 1250W
連續波 2000W
連續波 300W
連續波 6000W
效率： 滿輸出功率時約90%
脈沖： 達到500HzMUEGGE低波微波電源-高頻最大功率輸出3200W，脈沖工作模式
-頻率范圍200Hz-10kHz
MUEGGE脈沖微波電源脈沖微波電源：
CW 2KW 脈沖到4.5KW
CW3KW脈沖到10KW
50KW脈沖微波電源
-<1%的低波動率（波峰-波峰）
-脈沖上升時間(rise time)<10us
-脈沖回落時間(fall time)<10us
-功率波動率<1%
-脈沖衰減<1%MUEGGE標準微波電源標準微波電源功率有：
2450MHZ 1250W 2KW　3KW 6KW 10KW 15KW 20KW 30KW
915MHZ　5KW 30KW 50KW 60KW　75KW　100KW
5800MHZ　700WMUEGGE標準微波電源標準微波電源功率有：
2450MHZ 1250W 2KW　3KW 6KW 10KW 15KW 20KW 30KW
915MHZ　5KW 30KW 50KW 60KW　75KW　100KW
5800MHZ　700WMUEGGE LC電感微波電源電源的分類：
LC 電感電源，功率不可調
標準電源
脈沖電源
低波動率微波電源
MUEGGE LC電感微波電源電源的分類：
LC 電感電源，功率不可調
標準電源
脈沖電源
低波動率微波電源
MUEGGE磁控管工業用磁控管他三種頻率：2450MHZ 915MHZ 5800MHZ
2450MHZ磁控管功率從300W-30KW
915MHZ磁控管的功率從5KW-100KW
5800MHZ磁控管的功率有兩種：420W 750W MUEGGE  MB2568A-120DP
MUEGGE  MH2000S-218BB
MUEGGE  MX4000X-111KL
MUEGGE  MB2568A-111EA
MUEGGE  ME0118P-015AB S/N:4101473
MUEGGE  MB2658A-110EA
MUEGGE  MB2658A-120BL
MUEGGE  E3327
MUEGGE  MB2658A-110EA
MUEGGE  MB2568A-120CH
MUEGGE  MH3000S-222BB
MUEGGE  MEOU8P-015AB 3kw
MUEGGE電源  MX2000S-100XA
MT0850B-110HJ
MT1250B-102HE
MT2000B-110HE
MX015KE-100ME
MX020KE-100KE
MX030KE-100KE
MS010KE-500DE
MS030KE-500DE
MS075KE-510DE
MS100KE-510DE
MUEGGE波導元件 MW2000S-100XA
MW2014A-260FD
MW2015A-260FF
MW2016A-260FF
MW2100A-260FC
MW2001D-120ED
MW2003D-120ED
MW2005D-260ED
MW2009D-260ED
MUEGGE  MB2568A-120DP
MUEGGE  MH2000S-218BB
MUEGGE  MX4000X-111KL
MUEGGE  MB2568A-111EA
MUEGGE  ME0118P-015AB S/N:4101473
MUEGGE  MB2658A-110EA
MUEGGE  MB2658A-120BL
MUEGGE  E3327
MUEGGE  MB2658A-110EA
MUEGGE  MB2568A-120CH
MUEGGE  MH3000S-222BB
MUEGGE  MEOU8P-015AB 3kw

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