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鈦鋁靶主要用於平麵顯示器、鍍膜玻璃、薄膜太陽能。
鈦鋁靶化學指標
牌號
化學成分( % )≤
C
N
O
S
Mg
Na
Fe
Si
AlTi70/30
AlTi67/33
AlTi60/40
AlTi50/50
0.1
0.5
0.01
0.005
0.002
0.12