鈦合金TC4材料的組成為Ti-6Al-4V，屬於(a+b)型鈦合金，具有良好的綜合力學機械性能。比強度大。TC4的強度sb=1.012MPa，密度g=4.4*103，比強度sb/g=23.5，而合金鋼的比強度sb/g小於18。 鈦合金熱導率低。 鈦合金的熱導率為鐵的1/5、鋁的1/10，TC4的熱導率l=7.955W/m·K。鈦合金的彈性模量較低。TC4的彈性模量E=110GPa，約為鋼的1/2，故鈦合金加工時容易產生變形。 TC4(Ti-6Al-4V)和TA7(Ti-5Al-2.5Sn)鈦合金，采用兩種註入方案進行表麵改性，試驗表明，鈦合金經離子註入後，提高瞭顯微硬度，顯著地降低瞭滑動摩擦系數，有效地提高瞭耐磨性.為探明其改性機理，對註入與未註入樣品進行瞭X射線光電子能譜(XPS)分析，獲得滿意的結果.

●試件制備及註入條件1.1 試件制備

　　選航空用的TC4、TA7鈦合金，試件制成圓盤狀，尺寸為40*5mm，所有試件表麵均拋光至鏡麵.

　　1.2 離子註入條件

　　兩種鈦合金都分別采用兩種註入方案：

　　① 在TC4及TA7鈦合金試件上濺射鍍Ti，Ti膜總厚度為540nm(5400A).在鍍Ti膜過程中，同時用(N+ +N+2)進行動態反沖註入，束流能量為50keV，束流密度為45μA/cm2，劑量為7*1017/cm2，靶室真空度為1.33*10-2Pa；

　　② 在①的基礎上，再註入C+，束流能量為40keV，劑量為3*1017/cm2.

● 硬度測量

　　用HXD-1000數字式顯微硬度計測量瞭註入與未註入試件的顯微硬度，測量載荷為4.9×10-2N，測量結果列於表1.

　　表1 顯微硬度測量結果

　　材料 表麵狀態 顯微硬度/MPa 硬度提高倍數

　　未註入 2690 0

　　TC4 註入(N+ +N+2) 6399 1.38

　　註入(N+ +N+2)+C+ 3436 0.28

　　未註入 3133 0

　　TA7 註入(N+ +N+2) 4276 0.36

　　註入(N+ +N+2)+C+ 4073 0.30

　　從表1看出，離子註入後，試件的顯微硬度都有不同程度的提高，其中TC4鈦合金註入(N+ +N+2)混合束後硬度約提高1.4倍

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