五氧化二鉭
化學符號：Ta2O5 
外    觀：無色
分 子 量：441.89 
密    度：8.74g/cm3
熔    點：1800℃                                                                    
線膨脹系數：16.4×10-7/℃（30-630℃）
折 射 率（波長/nm）:2.1(550) 
透明波段(nm):350-10000
在10-4Torr的蒸發溫度：1920℃ 
坩    堝：W
線    圈：Ta：W 
相對介電常數：25
損耗因數：0.01 
頻    率/kHz：1.0
擊穿電壓/V•cm-1：6×106 
沉積技術：陽極氧化
薄膜的機械和化學性質：稍微分解10-3TorrO2內蒸發
應    用：濾光片、絕緣膜、高反膜
Ta2O5分析報告：
Si       Fe     Mn     Mo    Cr   Ni      Al      Nb      Cu      Ti
13ppm   5ppm   5ppm  <5ppm  3ppm  3ppm   <5ppm   10ppm   3ppm    <10ppm  

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