金屬濺射鍍膜靶材 
金屬鋁靶材Al，金屬銻靶材Sb，金屬鉍靶材Bi，金屬鎘靶材Cd，硼靶材B，碳靶材C，熱解石墨靶材C，稀土金屬鈰靶材Ce，金屬鉻靶材Cr，金屬鈷靶材Co，金屬銅靶材Cu，稀土金屬鏑靶材Dy，稀土金屬鉺靶材Er，稀土金屬銪靶材Eu，稀土金屬釓靶材Gd，鍺靶材Ge，金靶材Au，金屬鉿靶材Hf，稀土金屬鈥靶材Ho，金屬銦靶材In，金屬銥靶材Ir，金屬鐵靶材Fe，金屬鑭靶材La，金屬镥靶材Lu，金屬鎂靶材Mg，金屬錳靶材Mn，難熔金屬鉬靶材Mo，稀土金屬釹靶材Nd，金屬鎳靶材Ni，難熔金屬鈮靶材Nb，貴金屬鈀靶材Pd，貴金屬鉑靶材Pt，金屬鐠靶材Pr，金屬錸靶材Re，貴金屬釕靶材Ru，金屬釤靶材Sm，金屬硒靶材Se，金屬鈧靶材Sc，金屬銀靶材Ag，金屬矽靶材Si，難熔金屬鉭靶材Ta，稀土金屬銩靶材Tm，金屬錫靶材Sn，金屬鈦靶材Ti，難熔金屬鎢靶材W，金屬釩靶材V，稀土金屬鐿靶材Yb，稀土金屬釔靶材Y，金屬鋯靶材Zr，金屬鋅靶材Zn 
合金濺射鍍膜靶材 
鋁銅合金靶材(Al-Cu),鋁鉻合金靶材(Al-Cr),鋁鎂合金靶材(Al-Mg),鋁矽合金靶材(Al-Si),鋁銀合金靶材(Al-Ag),鈰釓合金靶材(Ce-Gd),鈰釤合金靶材(Ce-Sm),鉻矽合金靶材(Cr-Si),鈷鉻合金靶材 (Co-Cr),鈷鐵合金靶材(Co-Fe),鈷鐵硼合金靶材(Co-Fe-B),銅鈷合金 (Cu/Co) ,銅鎵合金靶材(Cu-Ga),銅銦合金靶材 (CuIn),銅鎳合金靶材 (Cu-Ni),銅鋯合金靶材（Cu-Zr)　,鉿鐵合金（HfFe),鐵硼合金 (Fe-B),鐵碳合金 (Fe-C),鐵錳合金 (Fe-Mn),銥錳合金(Ir-Mn),銥錸合金(Ir-Re),銦錫合金 (In-Sn),鉬矽合金靶材 (Mo-Si),鎳鋁合金靶材(Ni-Al),鎳鉻合金靶材 (Ni-Cr),鎳鉻矽合金靶材 (Ni-Cr-Si),鎳鐵合金靶材 (Ni-Fe),鎳鈮鈦合金靶材 (NiNbTi) ,鎳鈦合金靶材 (Ni-Ti),鎳釩合金靶材 (Ni-V),釤鈷合金靶材 (Sm-Co)，銀銅合金靶材 (Ag-Cu),銀錫合金靶材 (Ag-Sn),鉭鋁合金靶材(Ta-Al),鋱鏑鐵合金靶材 (TbDyFe),鋱鐵合金靶材(TbFe),鈦鋁合金靶材(TiAl),鈦鎳合金靶材 (TiNi),鈦鉻合金靶材 (TiCr),鎢錸合金靶材(WRe) ,鎢鈦合金靶材(WTi),鋯鋁合金靶材(ZrAl), 鋯鐵合金靶材 (Zr-Fe) ,鋯鎳合金靶材 (Zr-Ni),鋯鈮合金靶材(ZrNb),鋯鈦合金靶材(ZrTi),鋯釔合金靶材 (ZrY) ,鋅鋁合金靶材(ZnAl),鋅鎂合金靶材 (ZnMg) 
陶瓷靶材 
硼化物靶材  
硼化二鉻陶瓷靶材 (Cr2B)，硼化鉻陶瓷靶材 (CrB)，二硼化鉻陶瓷靶材 (CrB2)，三硼化五鉻陶瓷靶材 (Cr5B3), 硼化鐵陶瓷靶材 (FeB)，二硼化鉿陶瓷靶材 (HfB2)，六硼化鑭陶瓷靶材 (LaB6)，硼化二鉬 (Mo2B)，五硼化二鉬 (Mo2B5)，硼化鈮 (NbB)，二硼化鈮 (NbB2)，硼化鉭 (TaB),Tantalum Boride (TaB2)，二硼化鈦(TiB2)，硼化二鎢 (W2B)，硼化鎢 (WB)，硼化釩陶瓷靶材 (VB)，二硼化釩陶瓷靶材 (VB2)，二硼化鋯陶瓷靶材 (ZrB2)  
碳化物靶材  
碳化四硼陶瓷靶材(B4C)，二碳化三鉻陶瓷靶材 (Cr3C2)，碳化鉿陶瓷靶材(HfC)，碳化二鉬陶瓷靶材 (Mo2C)，碳化鈮陶瓷靶材 (NbC)，碳化矽陶瓷靶材 (SiC)，碳化鉭陶瓷靶材 (TaC)，碳化鈦陶瓷靶材(TiC)，碳化鎢陶瓷靶材 (WC)，碳化二鎢陶瓷靶材 (W2C)，碳化釩陶瓷靶材 (VC)，碳化鋯陶瓷靶材 (ZrC)  
氟化物靶材  
氟化鋁陶瓷靶材(AlF3)，氟化鋇陶瓷靶材 (BaF3)，氟化鎘陶瓷靶材 (CdF2)，氟化鈣陶瓷靶材 (CaF2)，氟化鈰陶瓷靶材 (CeF3)，氟化鏑陶瓷靶材 (DyF3)，氟化鉺陶瓷靶材(ErF3)，氟化鉿陶瓷靶材 (HfF4)，氟化鉀陶瓷靶材 (KF)，氟化鑭陶瓷靶 (LaF3)，氟化鉛陶瓷靶(PbF2)，氟化鋰陶瓷靶材(LiF)，氟化鐠陶瓷靶材 (PrF3)，氟化鎂陶瓷靶材(MgF2)，氟化釹陶瓷靶材 (NdF3)，氟化釤陶瓷靶材 (SmF3)，氟化鈉陶瓷靶材（NaF)，鋁氟酸鈉(冰晶石)靶材(Na3AlF6)，氟化鍶陶瓷靶材(SrF2)，氟化釷陶瓷靶材 (ThF4)，氟化釔陶瓷靶材 (YF3)，氟化鐿(YbF3)  
氮化物靶材  
氮化鋁陶瓷靶材 (AlN)，氮化硼陶瓷靶材 (BN)，氮化鎵陶瓷靶材(GaN), 氮化鉿陶瓷靶材(HfN)，氮化鈮陶瓷靶材 (NbN)，氮化矽陶瓷靶材 (Si3N4)，氮化鉭陶瓷靶材 (TaN)，氮化鈦陶瓷靶材 (TiN)，氮化釩陶瓷靶材 (VN)，氮化鋯陶瓷靶材 (ZrN)  
氧化物靶材 
氧化鋁陶瓷靶材 (Al2O3),氧化銻陶瓷靶材(Sb2O3),氧化銻摻錫陶瓷靶材(ATO)，鈦酸鋇陶瓷靶材(BaTiO3)，氧化鉍陶瓷靶材(Bi2O3)，氧化鈰陶瓷靶材(CeO2),氧化銅陶瓷靶材(CuO),氧化鉻陶瓷靶材(Cr2O3),氧化鏑陶瓷靶材(Dy2O3),氧化鉺陶瓷靶材(Er2O3),氧化鉺陶瓷靶材(Eu2O3),氧化釓陶瓷靶材(Gd2O3),氧化鎵陶瓷靶材(Ga2O3),氧化鍺陶瓷靶材GeO2),二氧化鉿陶瓷靶材(HfO2),氧化鈥陶瓷靶材(Ho2O3),氧化銦陶瓷靶材(In2O3),氧化銦錫陶瓷靶材(ITO),三氧化二鐵陶瓷靶材(Fe2O3),四氧化三鐵陶瓷靶材(Fe3O4),氧化鑭陶瓷靶材(La2O3),鈦酸鉛陶瓷靶材(PbTiO3),鋯酸鉛陶瓷靶材(PbZrO3),鈮酸鋰靶材(LiNbO3), 鐵酸镥陶瓷靶材(Lu3Fe5O12),氧化镥陶瓷靶材(Lu2O3),氧化鎂陶瓷靶材(MgO),氧化鉬陶瓷靶材(MoO3),氧化釹陶瓷靶材(Nd2O3),氧化鐠陶瓷靶材(Pr6O11),鈦酸鐠陶瓷靶材(Pr(TiO2)2),氧化鐠陶瓷靶材(Pr2O3),氧化釤陶瓷靶材(Sm2O3),氧化鈧陶瓷靶材(Sc2O3),二氧化矽靶材(SiO2),一氧化矽陶瓷靶材(SiO),鈦酸鍶陶瓷靶材(SrTiO3),鋯酸鍶陶瓷靶材(SrZrO3),五氧化二鉭陶瓷靶材(Ta2O5),氧化鋱陶瓷靶材(Tb4O7),氧化碲陶瓷靶材(TeO2),氧化釷陶瓷靶材(ThO2), 氧化銩陶瓷靶材(Tm2O3),二氧化鈦陶瓷靶材(TiO2),一氧化鈦陶瓷靶材(TiO),五氧化三鈦陶瓷靶材(Ti3O5),三氧化二鈦陶瓷靶材(Ti2O3),二氧化錫陶瓷靶材(SnO2),一氧化錫陶瓷靶材(SnO),三氧化鎢陶瓷靶材(WO3),五氧化二釩陶瓷靶(V2O5),釔鋁石榴石(YAG)Y3Al5O12,三氧化二鐿陶瓷靶材 (Yb2O3),氧化釔陶瓷靶材(Y2O3),氧化鋅陶瓷靶材(ZnO),摻鋁氧化鋅陶瓷靶材(ZnO:Al),氧化鋯陶瓷靶材(ZrO2)(未摻雜),氧化鈣穩定氧化鋯陶瓷靶材 (ZrO2-5-15wt%CaO)，氧化釔穩定氧化鋯陶瓷靶材（ZrO2：Y2O3) 
硒化物靶材  
硒化鉍陶瓷靶材 (Bi2Se3), 硒化鎘濺射靶材 (CdSe),硒化銦濺射靶材 (In2Se3),硒化鉛濺射靶材 (PbSe),硒化鉬濺射靶材 (MoSe2),硒化鈮濺射靶材 (NbSe2),硒化鉭濺射靶材 (TaSe2),硒化鎢濺射靶材 (WSe2),硒化鋅濺射靶材 (ZnSe)  
矽化物靶材  
矽化三鉻陶瓷濺射靶材(Cr3Si),二矽化鉻陶瓷濺射靶材(CrSi2),二矽化鈷陶瓷靶材(CoSi2), 二矽化鉿陶瓷靶材(HfSi2),二矽化鉬陶瓷靶材(MoSi2),二矽化鈮陶瓷靶材(NbSi2),二矽化鉭陶瓷靶材(TaSi2),三矽化五鉭陶瓷靶材(Ta5Si3),二矽化鈦陶瓷靶材(TiSi2),三矽化五鈦陶瓷靶材(Ti5Si3),二矽化鎢陶瓷靶材(WSi2),矽化三釩陶瓷靶材(V3Si),二矽化釩陶瓷靶材(VSi2),二矽化鋯陶瓷靶材 (ZrSi2)  
硫化物靶材  
硫化銻陶瓷靶材(Sb2S3) ,硫化砷陶瓷靶材(As2S3),硫化鎘陶瓷靶材(CdS),硫化鐵陶瓷靶材(FeS),硫化鉛陶瓷靶材(PbS),硫化鉬陶瓷靶材(MoS2),硫化鈮陶瓷靶材(NbS1.75),硫化鉭陶瓷靶材 (TaS2),硫化鎢陶瓷靶材(WS2),硫化鋅陶瓷靶材 (ZnS), 
碲化物靶材  
碲化鎘陶瓷靶材 (CdTe),碲化鉛陶瓷靶材 (PbTe),碲化鉬陶瓷靶材 (MoTe2),碲化鈮陶瓷靶材 (NbTe2),碲化鉭陶瓷靶材 (TaTe2),碲化鎢陶瓷靶材 (WTe2),碲化鋅陶瓷靶材 (ZnTe)，碲化銦陶瓷靶材(InTe) 
其他陶瓷靶材 
摻鉻一氧化矽陶瓷靶材(Cr-SiO)，磷化銦靶材(InP)，砷化鉛靶材(PbAs)，砷化銦靶材(InAs)，磷化鎵靶材(GaP)，銻化鎵靶材(GaSb)，銻化銦靶材（InSb）