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技術簡介
1、技術來源
  多功能超硬薄膜工模具塗層裝備，完全自主產權，2006年授權專利，國傢“十一五”科技支撐計劃-2008BAF2B06-高速高效刀具表麵改性技術支持項目。（參研單位四川大學、上海工具廠有限公司、成都工具研究所）

2、技術特點

（1）全部國產硬件

（2）國內原材料

（3）可實現多層、納米多層及復合膜的制備

（4）塗層種類TiN、TiCN、TiA1N、A1TiSiN、A1CrSiN、CrN、ZrN、TiSiN等

（5）工業化生產能力，Φ60×80滾刀每爐可裝載48件

（6）適合於各類工模具鍍膜

3、技術先進性

（1）全新的設計理念，獨特的設備構造，自主的知識產權

（2）沉積速率1-2μm/h，塗層厚度2-4μm,膜基結合力50-80N

（3）致密的薄膜組織，光整的表麵形貌

（4）塗層性能與國際先進水平等同

（5）適宜的生產周期

（6）低的維護費用，低的生產成本

（7）良好的重復性及工藝穩定性，可靠性高於95%

（8）鍍膜材料的適應性強

（9）可實現多種薄膜的制備

技術支持

1、真空室

（1）304不銹鋼，有效鍍膜空間800×600×300mm

（2）304不銹鋼工件夾具，公自轉（可根據使用情況特殊設計）

（3）靶源2對，300×100

（4）輔助多功能源一套

2、真空系統

（1）系統采用三級真空泵機組，機械泵2X-70、羅茨泵150、擴散泵K-400T或分子泵

（2）閥門系統含高閥、前級閥、預閥為氣動，機械泵充氣閥為壓差閥、真空室放氣閥為氣動閥

（3）真空測量：復合真空計、含2個熱偶規、1個電離規

（4）反應氣體控制：三通道流量控制、含控制器、顯示機、截止閥

3、電源控制系統

（1）真空系統控制櫃一臺

（2）輔助多功能控制櫃一臺

（3）輔助增強電壓控制櫃一臺

（4）蒸發源控制櫃一臺

設備配置

1、可提供整套設備（包含塗層設備主機、清洗機、噴泵機、空壓機、冷水機組、劃痕機、球痕機、顯微鏡等）

2、可提供各類工藝技術(包含清洗工藝技術、各種塗層工藝技術、退鍍工藝技術、塗層質量檢測工藝技術及塗層工模具合理應用技術）

3、可提供各種技術文件（包含設備使用說明書、設備操作維護手冊等）

4、可提供人員培訓(操作及設備維護培訓。內容包括：真空理論、清洗及塗層工藝、實際上機操作、塗層質量檢測、設備維修保養及故障處理）

5、可提供塗層加工服務

新手教學

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