加工定制:否 | 品牌:kosaka | 型號:KOSAKA LAB ET 200 |
測量精度:0.1nm | 外形尺寸:W494×D458×H610mm(mm) | 重量:120kg(kg) |
適用范圍:max.110 |
株式會社小坂研究所(KOSAKA)是於1950年創立的公司,也是日本第一傢發表光學乾槓桿表麵粗糙度計,是一傢具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為最具代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET 200基於Windows XP操作系統為多種不同表麵提供全麵的形貌分析,包括半導體矽片、太陽能矽片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表麵、生物醫學器件、薄膜/化學塗層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)****接觸測量的方式來實現高精度表麵形貌分析應用。ET 200能精確可靠地測量出表麵臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表麵形貌技術參數。
ET 200配備瞭各種型號****,提供瞭通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到****工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。
1. 最大工件尺寸:φ160mm
2. 最大工件厚?:50mm
3. 最大工件重量:2kg
1. Z方向測定範圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 測定?:min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑:2 μm
5. 驅動方式:直動式
6. 再現性:1σ= 1nm
1. 移動量(最大測長):100mm
2. 移動的真直?:0.2μm/100mm
3. 移動,測定速?:0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm
1. 移動量:50mm
2. 移動速度:max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能:0.2μm
1. 工件臺尺寸:φ160mm
2. 機械手動傾斜: ± 1mm/150mm
50/60HZ, 300VA
W494×D458×H610mm, 120kg
(?含防震臺)
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