| 加工定制：否 | 品牌：INFICon（英福康） | 型號：Edge CDG045D2 電容膜片真空計 |
| 測量范圍：1 … 1000 托 / 毫巴（Pa） |
INFICon Edge 電容膜片真空計屬於高精準真空測量機器，專為苛刻的生產環境而設計。經驗證的溫度控制、防腐蝕超純陶瓷傳感器可長期提供卓越的滿量程穩定性和最先進的零點穩定性。Edge 采用 INFICon 獲得專利的獨特傳感器屏蔽，可保護真空計在使用過程中產生不需要的附帶結果。先進的電子設備為所有應用提供各種可配置的信號條件以及可選的 EtherCAT 現場總線接口。創新的加熱概念確保瞭冰涼的接觸表麵並節省瞭寶貴的工具空間。 INFICon Edge 是同類產品中體積最小的真空測量機器。
益處
- 設計緊湊，節省寶貴的工具空間
- 易於集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標配兩個設定點
- 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
- 診斷端口用於快速維修和維護
- 兩年保修服務，先進的加熱概念和真空計保護延長瞭使用壽命
- 卓越的信號穩定性和可重復性，即使是最苛刻的等離子應用，都無需長期執行重新校準
- 合規性與標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
- 用於 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導體制造過程
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