| 加工定制：否 | 品牌：DH | 型號：DH2004 |
| 類型：物理教學機器 |
自然界中物質的形態除瞭固、液、氣三種形態之外,還存在第四態,即等離子體狀態.等離子體的產生過程為:固體物質在受熱的情況下熔化成液體,液體進一步受熱後變成氣體,氣體進一步受熱後,中性的原子和分子電離成離子和電子,形成等離子體.由於等離子體中含有大量具有高能量的活性基團,這使得等離子體能夠參與或發生許多不同的化學或物理反應.
本裝置由微波源、真空系統、供氣系統、冷卻水系統、微波傳輸及微波諧振腔組成;由微波源產生的頻率為2.45GHz的微波,沿矩形波導管傳輸,經過調整短路活塞,最後在水冷諧振腔反應室內激勵氣體形成軸對稱的等離子體球.
在基材（如矽片）上完成微波等離子體化學氣相沉積法制備各種功能薄膜材料（如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表麵改性、微波等離子體清洗材料表麵、微波等離子體化學合成等實驗;適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究.培養學生掌握等離子體技術的應用.
本裝置需另配光學顯微鏡、超音波清洗機、氣源.隨機配備基材、金剛石微粉.
裝置已申請國傢發明專利:200610050018.8;獲得實用新型專利:ZL 2006 2 0102055.4.
◆無內部電療,可避免放電污染,運行氣壓范圍寬,能量轉換效率高,可產生大范圍的高密度等離子體.
◆設有垂直交叉的兩個方向的透明觀察窗,可直觀觀察等離子體的放電特性.
◆微波等離子體刻蝕精度達到亞微米級.制備各種功能薄膜材料的速率較快.
1、微波源:功率0～800W連續可調輸出;
2、真空系統:采用旋片真空泵,單相220V交流電源,極限真空6×10-1帕,抽速2升/秒;真空計采用數顯壓阻式真空計和熱偶真空計聯合作用,用於測量本底真空和工作時的工作氣壓.真空密封采用金屬和橡膠密封;真空調節采用隔膜閥粗調和微調閥精細調節,調節快速方便、穩定性好.
3、供氣系統:有兩路獨立供氣氣路,通過轉子流量計控制流量.
4、自帶冷卻水循環系統形成冷卻水.制冷系統可保證冷卻水溫度在30度以下,無水源要求.
5、微波傳輸及微波諧振腔:配有環行器、水負載和三螺釘阻抗調配器,可保證微波源的安全工作;配有微波反射測量系統,保證等離子體最大限度地吸收微波能.反應室工作壓強:幾帕～十千帕;反應室極限壓強:6×10-1帕;真空反應室石英管腔體尺寸:Φ50mm;基片溫度范圍:200～1000℃;電磁波功率:0～800W;接地線＜3Ω.
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