| 加工定制：是 | 品牌：INFICon | 型號：HPG400 |
| 測量范圍：3.8x10-8~100000（Pa） | 外形尺寸：30（mm） | 重量：0.5（kg） |
| 產品適用范圍：半導體工藝和輸送室中的壓強測量,工業鍍膜,一般真空測量和控制,從低至超高真空范圍 |
INFICon公司生產的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個小型、輕便與經濟的規管中，測量壓強從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復性
和再現性壓強測量，用於精確的濺射過程的壓強控制。
極寬的測量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)
極好的重復性,過程壓強范圍10-8… 10-2毫巴均為5%
皮拉尼連鎖保護燈絲,防止過早燒毀
雙敷塗釔的氧化銥長壽命燈絲
可選圖形顯示和現場總線接口
自動高真空皮拉尼調整,減少操作人員的乾預
容易更換具有在機校準的傳感元件,保證高度重復性
半導體工藝和輸送室中的壓強測量
工業鍍膜
一般真空測量和控制,從低至超高真空范圍
測量范圍 | 2×10-6至1000毫巴, 1.5×10-6至750乇 |
精度 10-5至1 毫巴 %讀值 10-5至10-1毫巴 %讀值 10-1至100毫巴 %讀值 | ±151） ±2 ±30 |
熱離子發射，可選擇 毫巴
| 1 5×10-1 2×10-1 1×10-1 5×10-2 |
最大壓強，絕對 巴 | 5 |
溫度 工作（室溫） ℃ 儲存 ℃ 烘烤 在法蘭處 ℃ 卸除電子學 ℃ |
0至+50 -20至+70
80 150 |
電源 電壓 伏DC 耗損，最大 瓦 |
20至28 16 |
輸出訊號模擬 伏 測量范圍 熱陰極 伏 皮拉尼 伏 電壓/壓強比值 熱陰極 伏/量級 皮拉尼 伏/量級 誤差訊號 伏 最小負載 仟歐 | 0至10.2
1至7.5 8.5至9.75
1 0.25 0.3/0.5 10 |
接口（數字）2） | RS232C |
連接件 | D-sub，15腳，插頭型 |
電纜長度，最大3） 米 | 100 |
暴露於真空的材料 | 氧化釔，銥，不銹鋼，鉬，銅，鎢，玻璃，NiFe, NiCr,鉑 |
內部容積 毫升 重量 KF/CF 克 保護類型 | 20 430/695 IP30 |
1）精度從10-5毫巴至所選的熱離子發射壓強上限值
2）不允許RS232C或VGC400系列控制器與現場總線同時使用
3）RS232C工作< 30米 HPG400無液晶顯示器 HPG400有液晶顯示器
協議 | DeviceNet，僅組2輔助 |
數據率開關 仟波特 | 125,250.500或可編程網絡 |
電纜長度 125kbps 米 250kbps 米 500kbps 米 |
500 250 100 |
MAC ID | 2個開關（地址00-63）或可編程網絡 |
網絡大小 | 高至每段64個節點 |
數字功能 | 讀壓強，選單位：乇，毫巴，帕 皮拉尼全量程調整 監測器：規管狀態 安全狀態可定義出現誤差時的動作 詳細的報警和警告信息 |
模擬功能 | 0至10伏模擬輸出壓強指示 兩個設點繼電器A+B |
燈光通訊指示器 | LED網絡狀態（綠/紅） LED模件狀態（綠/紅） |
技術規范 | DeviceNet“真空計設備型式” |
設備類型 | “CG”用於復合真空計 |
顯式對等信息 | 無 |
I/O對等信息 | 無 |
配置一致性值 | 無 |
虛假節點復原 | 無 |
波特率 仟波特 | 125/250/500 |
主板/掃描機 | 無 |
I/O輔助信息 位選通 輪訊 循環 狀態變換（COS） |
無 有 無 無 |
設點繼電器 范圍 毫巴 繼電器觸點 滯後 觸點額定值 伏/安DC 連接件 | 2 2×10-6至100 常開，無電位 10%讀值 60/0.5 D-sub，15腳，插頭型 |
DeviceNet電源 伏/安DC 真空計電源 伏DC | 11至25/0.5 20至28 |
DeviceNet連接件 BCG，模擬輸出和電源連接件 | 微型，5腳 D-sub，15腳，插頭型 |
波特率 仟波特 兆波特 | 9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12 |
地址 | 2個開關（地址00-127）或可編程網絡 |
數字功能 | 讀壓強，選單位：乇，毫巴，帕 皮拉尼全量程調整 監測器：規管狀態 安全狀態可定義出現誤差時的動作 詳細的報警和警告信息 |
模擬功能 | 0至10伏模擬輸出壓強指示 兩個設點繼電器A+B |
擴展的用戶參數數據 | 無 |
同步模式和凍結模式 | 無 |
連接件 | D-sub，9腳，插座型 |
設點繼電器 范圍 毫巴 繼電器觸點 滯後 觸點額定值 伏/安DC 連接件 | 2 1×10-6至100 常開，無電位 10%讀值 60/0.5 D-sub，15腳，插頭型 |
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