| 加工定制：否 | 品牌：INFICon（英福康） | 型號：CDG160D電容薄膜真空計 |
| 測量范圍：1 乇至 1000 乇（Pa） |
CDG160D電容薄膜真空計和CDG200D電容薄膜真空計溫度控制分別在 160 ℃ 和 200 °C，具有卓越的性能，適用於苛刻的半導體和等離子過程。 在 1 托至 1000 托滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICon 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。 INFICon CDG 品質卓越，極具成本效益，適用於苛刻的半導體、等離子和真空應用。
CDG160D電容薄膜真空計益處
- 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
- 易於集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
- 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
- 診斷端口用於快速維修和維護
- 兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長瞭使用壽命
- 卓越的信號穩定性和可重復性，即使是最苛刻的等離子應用，都無需長期執行重新校準
- 合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
CDG160D電容薄膜真空計典型應用
- 用於刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
- 化學和腐蝕性高溫過程
- 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
具體參數請與我公司聯系！
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