| 類型：白光乾涉機 | 品牌：Rational/萬濠 | 型號：SWIM1510MS白光乾涉機 |
| 品種：其他乾涉機 | 測量范圍：150mm×100mm | 測量分辨率：0.1nm |
| 最近工作距離：80mm（mm） | 用途：結合光學顯微鏡與白光乾涉機功能的掃描式白光乾涉顯微鏡，結合顯微物鏡與乾涉機，不需要復雜的光路調整程序 | 發貨期限：10 |
白光乾涉機
白光乾涉機的檢測應用
nt size="3">結合光學顯微鏡與白光乾涉機功能的掃描式白光乾涉顯微鏡，結合顯微物鏡與乾涉機，不需要復雜的光路調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400μm之微三維量測，適合各種材料與微組件表麵特征和微尺寸檢測。應用領域包含：nt>
nt size="3">·晶圓（Wafer）nt>
nt size="3">·光盤/硬盤（DVD Disk/Haed Disk）nt>
nt size="3">·微機電組件（MEMS Components）nt>
nt size="3">·平麵液晶顯示器（LCD）nt>
nt size="3">·高密度線路印刷電路板（HDI PCB）nt>
nt size="3">·IC封裝（IC Package）nt>
nt size="3">·以及其他材料分析與組件微表麵研究nt>
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高速精密的乾涉條紋解析軟件（ImgScan）
nt size="3">·系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光乾涉條紋。nt>
nt size="3">·垂直高度分辨率可達0.1nm。nt>
nt size="3">·高速的分析算法則，讓您不在苦候量測結果。nt>
nt size="3">·垂直掃描范圍的設定輕松又容易。nt>
nt size="3">·10×，20×與50×倍率的物鏡可供選擇。nt>
nt size="3">·平臺X、Y、Z位置數顯式顯示，使檢測標的尋找快速又便利。nt>
nt size="3">·具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的乾涉條紋對比。nt>
nt size="3">·具有高精度的PVSI與高速的VSI掃描量測模式供7選擇。nt>
nt size="3">·具有專利的解析算法則，可處理半透明物體的3D形貌。nt>
nt size="3">·具有自動補點功能。nt>
nt size="3">·可自行設定掃描方向。nt>
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nt size="3">專業級的3D圖形處理與分析軟件（PostTopo）nt>
nt size="3">·提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析。nt>
nt size="3">·提供自動表麵平整化處理功能。nt>
nt size="3">·提供階高標準片的軟件自校功能。nt>
nt size="3">·深度/高度分析功能，提供線型分析與區域分析等兩種方式。nt>
nt size="3">·線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表麵粗糙度（roughness）與起伏度（waviness）的量測分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據。nt>
nt size="3">·區域分析方式提供圖形分析與統計分析。具有平滑化、銳化與數字濾波等多種二維快速傅利葉轉換（FFT）處理功能。nt>
nt size="3">·量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出。nt>
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機臺規格：
nt size="3">型號nt> | nt size="3">SWIM1510MSnt> |
nt size="3">系統配備nt> | nt size="3">顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取像單元、個人計算機nt> |
nt size="3">顯微鏡nt> | nt size="3">單眼顯微鏡（標準配件）nt> |
nt size="3">乾涉物鏡（選配）nt> | nt size="3">放大率nt> | nt size="3">視野（mm）nt> | nt size="3">光學分辨率（μm）nt> |
nt size="3">10×nt> | nt size="3">0.5nt> | nt size="3">1.12nt> |
nt size="3">20×nt> | nt size="3">0.25nt> | nt size="3">0.84nt> |
nt size="3">50×nt> | nt size="3">0.1nt> | nt size="3">0.61nt> |
nt size="3">影像縮放nt> | nt size="3">1.0×（標準）0.5×（選配）nt> |
nt size="3">垂直掃描控制器nt> | nt size="3">掃描范圍nt> | nt size="3">100μm（400μm，選配）nt> |
nt size="3">掃描分辨率nt> | nt size="3">0.1nmnt> |
nt size="3">掃描模式nt> | nt size="3">自動nt> |
nt size="3">光強度調整nt> | nt size="3">自動/手動nt> |
nt size="3">掃描速度nt> | nt size="3">12μm/s（最快）nt> |
nt size="3">樣品移動平臺nt> | nt size="3">X-Y平麵移動平臺nt> | nt size="3">150mm×100mm，手動（標準配件）nt> |
nt size="3">Z軸移動平臺nt> | nt size="3">80mm，手動（標準配件）nt> |
nt size="3">位置數字顯示單元nt> | nt size="3">三軸光學尺與三軸數字顯示器（分辨率1μm）nt> |
nt size="3">偏移調整工作臺nt> | nt size="3">手動nt> |
nt size="3">取像單元nt> | nt size="3">影像傳感器nt> | nt size="3">麵型CCD（標準配置）nt> |
nt size="3">傳感器分辨率nt> | nt size="3">640×480像素（標準配件）nt> |
nt size="3">計算機配備nt> | nt size="3">Pentium-computer，17″LCD Monitor，120GB以上硬盤機nt> |
nt size="3">分析軟件nt> | nt size="3">MS-Windows兼容的數據攫取與分析軟件，包含ISO粗糙度/階高分析，快速傅利葉轉換和濾波，多樣的2D和3D觀測視角圖，外形分析，圖像縮放，標準影像檔案格式轉換等等。nt> |
nt size="3">階高標準片（選配）nt> | nt size="3">50nm、170nm、230nm、470nm、1800nmnt> |
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新手教學
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