加工定制:是 | 類型:激光乾涉機 | 品牌:德國Luphos |
型號:Luphoscan+R | 品種:激光乾涉機 | 測量范圍:詳見資料 |
測量分辨率:詳見資料 | 最近工作距離:詳見資料(mm) | 用途:詳見資料 |
LuphoScan是基於MWLI(多波長乾涉)技術的非球麵3D乾涉測量系統,它能夠實現超高精度、
非接觸的3D測量,主要用於測量旋轉對稱表麵。
1)研究任何的旋轉對稱表麵
球麵,非球麵,平麵,自由曲麵
2)超高測量精度
PV精度50nm
3)快速測量
對於Ф=85mm(ROC=50mm),測量時間約12min,點密度100/mm2
4)非球麵度
無限制
5)靈活性高
測量分段表麵,尖頂狀表麵或者矩形
6)大口徑
高達350mm
7)幾乎所有材料可測
拋光,粗糙,鏡麵,透明,不透明
新手教學
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