| 加工定制：否 | 類型：白光乾涉機 | 品牌：Rational/萬濠 |
| 型號：AE-100M | 品種：激光乾涉機 | 測量范圍：100μm 【400μm 選配】 |
| 測量分辨率：0.1NM | 最近工作距離：見詳細說明（mm） | 用途：納米深度3D檢測 |
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| 加工定制：否 | 類型：白光乾涉機 | 品牌：Rational/萬濠 |
| 型號：AE-100M | 品種：激光乾涉機 | 測量范圍：100μm 【400μm 選配】 |
| 測量分辨率：0.1NM | 最近工作距離：見詳細說明（mm） | 用途：納米深度3D檢測 |
