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normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>白光乾涉機

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">白光乾涉機的檢測應用

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-INDENT: 21pt; mso-char-indent-count: 2.0">nT size=3>結合光學顯微鏡與白光乾涉機功能的掃描式白光乾涉顯微鏡，結合顯微物鏡與乾涉機，不需要復雜的光路調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400μm之微三維量測，適合各種材料與微組件表麵特征和微尺寸檢測。應用領域包含：nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·晶圓（Wafer）nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·光盤/硬盤（DVD Disk/Haed Disk）nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·微機電組件（MEMS Components）nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·平麵液晶顯示器（LCD）nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·高密度線路印刷電路板（HDI PCB）nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·IC封裝（IC Package）nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·以及其他材料分析與組件微表麵研究nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>nT> 

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">高速精密的乾涉條紋解析軟件（ImgScan）

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光乾涉條紋。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·垂直高度分辨率可達0.1nm。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·高速的分析算法則，讓您不在苦候量測結果。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·垂直掃描范圍的設定輕松又容易。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·10×，20×與50×倍率的物鏡可供選擇。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·平臺X、Y、Z位置數顯式顯示，使檢測標的尋找快速又便利。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的乾涉條紋對比。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·具有高精度的PVSI與高速的VSI掃描量測模式供7選擇。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·具有專利的解析算法則，可處理半透明物體的3D形貌。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·具有自動補點功能。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·可自行設定掃描方向。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>nT> 

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>專業級的3D圖形處理與分析軟件（PostTopo）nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·提供自動表麵平整化處理功能。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·提供階高標準片的軟件自校功能。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·深度/高度分析功能，提供線型分析與區域分析等兩種方式。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表麵粗糙度（roughness）與起伏度（waviness）的量測分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·區域分析方式提供圖形分析與統計分析。具有平滑化、銳化與數字濾波等多種二維快速傅利葉轉換（FFT）處理功能。nT>

normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">nT size=3>·量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出。nT>

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normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt">機臺規格：

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