材質:激光譜線反射鏡 | 型號:TFM-25.4C05-405 | 適用范圍:工廠 |
裝箱數:20 | 外形尺寸:0 |
SIGMA KOKI 西格瑪光機激光譜線反射鏡產品描述
特征:
激光譜線反射鏡是一種在基板上,順序鍍上不同折射率的多層電介質膜的全反射鏡。
多層電介質膜幾乎沒有吸收,除部分紫外用反射鏡之外,其反射率可高達99%以上。
此種膜層比Al+氟化鎂(MgF2)膜更耐強激光。
反射波長(區間)和入射角有關。
可以提供3種類型激光譜線反射鏡。
[窄帶型] 針對某一具體激光波長的反射鏡,其設計入射角為45°。
[中寬帶型] 具有中等程度帶寬的多譜線反射鏡,其設計入射角為45°。
[寬帶型] 具有較寬帶寬的多譜線反射鏡,其設計入射角為45°。
註意
反麵也是鏡麵的反射鏡的鍍膜麵的位置,由基板側面的箭頭指示。
激光譜線反射鏡的反射率隨入射光的偏光特性不同而變化。和P偏光相比,S偏光具有更高的反射率和更寬的帶域。表中的反射率是指隨機偏光的值,或(P偏光反射率+S偏光反射率)/2。
反射率曲線是樣品的實測值,而且可能隨制造批次不同而變化。
檢查光路和調整光軸時,請一定戴好激光防護鏡。
麵精度是鍍膜前的反射波麵精度。
BK7 CFU(紫外用CaF2結晶) |
多層電介質膜 |
采用ZYGO公司激光乾涉機測量基板 |
632.8nm |
λ/10、光學研磨(CFU) |
≤3分 |
20-10 60-40 |
實際尺寸的90% |
技術參數:
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TFM-25.4C05-405 | 390—410 | - | ø25.4 | 5 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 光面 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-30C05-405 | 390—410 | - | ø30 | 5 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 光面 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-50C08-405 | 390—410 | - | Ø50 | 8 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 光面 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-30C05-450 | 420—480 | - | ø30 | 5 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 光面 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-10C03-500 | 480—540 | - | ø10 | 3 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 毛麵 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-15C03-500 | 480—540 | - | ø15 | 3 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 毛麵 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-15C05-500 | 480—540 | - | ø15 | 5 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 毛麵 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-20C03-500 | 480—540 | - | Ø20 | 3 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 毛麵 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-20C05-500 | 480—540 | - | Ø20 | 5 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 毛麵 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-25C05-500 | 480—540 | - | ø25 | 5 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 光面 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-30C05-500 | 480—540 | - | Ø30 | 5 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 光面 | ≥99.5 | 45±3 |
TFM-50C08-500 | 480—540 | - | Ø50 | 8 | BK7 | λ/10 | ≤3分 | 光面 | ≥99.5 | 45±3 |
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