加工定制:否 | 品牌:RENISHAW、RLS | 型號:LM10 |
類型:光柵電子尺 | 測量范圍:0-100M | 精度:±3.5μm |
解析度:±0.1μm | 重量:0.7(kg) | 尺寸:不等(mm) |
RESOLUTE™ — 產品預覽
直線柵尺:
RELA因鋼柵尺RSLA不銹鋼柵尺FASTRACK™RTLA
精度±1 µm/m | 精度±4 µm/5m | 精度±5 µm/m |
最大長度1 130 mm | 最大長度10,000 mm | 最大長度10,000 mm |
圓柵:
RESA圓柵REXA圓柵
精度±5秒 | 精度±1秒 |
圓柵尺寸從52 mm到550 mm | 圓柵尺寸從52 mm到417 mm
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RELM因鋼柵尺的熱膨脹系數為~0.6 µm/m/°C,有多種長度可供選擇。堅固的因鋼柵尺比玻璃柵尺具有更小的截麵尺寸,而且操作和安裝更為簡便,沒有破損的風險。RELM精度為±1 µm,分辨率達5 nm,能夠滿足要求苛刻的精密運動的需求。
RSLM不銹鋼直線柵尺的性能可與精細柵距的玻璃柵尺媲美,有多種長度可供選擇,最長可達5 m。在5 m長度內的總體精度(包括斜率誤差和線性誤差) 優於±4 μm —達到業內最高水平!RSLM可以方便的成卷存放,一旦展開,就可以像直線柵尺一樣使用。此外,該柵尺還具有超低的周期誤差 (±30 nm),是測量精度要求嚴格的長行程應用場合的理想解決方案。
技術
紅外發光二極管將光線射到柵尺上,它是一種柵距為20 µm的平麵反射金屬光柵。柵尺均勻且周期性好,這一點非常重要,但不要求其為優質的衍射光柵。與RG2和RG4讀數頭一樣,SiGNUM™讀數頭光學器件采用對多個光柵周期進行平均的技術,有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去,以在探測器上留下一個完美的正弦波形。這裡使用的是一個多條紋結構,它非常細,能夠產生4個對稱相位信號形式的光電流。這些結合在一起可去除DC器件,並可產生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和餘弦輸出,同時保持500 kHz以上的帶寬。
通過主動調節各個通道增益、偏置量以及對SiGNUM™讀數頭內LED指示燈燈源進行控制,可使這些信號的平衡和電平控制進一步得到增強。因此,固有周期誤差(電子細分誤差,SDE)僅為±30 nm,相當於0.15%的柵尺刻劃周期。在SiGNUM™ Si接口內,通過CORDIC算法進行細分。
IN-TRAC™參考零位直接刻劃在增量柵尺上。此特征被光學濾波系統濾除,但被讀數頭內一個分離的光電檢測器檢測到。通過光學感應和門控電路產生參考零位信號,在所有的速度下都具有雙向可重復性。安裝後,相應的模擬通道的相位校準通過接口內的邏輯自動執行,並提供全麵的系統監控和安裝幫助。
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