加工定制:否 | 品牌:韓國 | 型號:SPIN COATER |
用途:塗膜塗層 | 別名:旋塗機 |
MIDAS為勻膠機(又稱為旋塗機、甩膠機、Spin Coater等)的知名國際品牌,目前全球用戶超過1800臺,在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽,是行業領導者。
項目 Item | 技術規格 Specification |
時間 Time | 1~999秒,可調節 |
基底尺寸 Substrate Size | ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸 |
卡盤旋轉速度 Chuck Rotation Speed | 300~8000 rpm,直流伺服馬達/交流伺服馬達 |
勻膠狀態 Spin State | 50步,20個方案控制(數字程序編輯) |
碗腔尺寸 Bowl Size | 8英寸,鋁(經陽極氧化工藝)/12英寸,SUS |
增/減速率 Accele/deceleration Rates | 可調節 |
真空卡盤 Vacuum Chuck | 鋁(陽極氧化),乙縮醛(Acetal) |
電源 Electrical Power | 220V, 5A |
無油真空壓力泵 Oilless Vacuum Pump | - 650 mmHg |
尺寸(mm) Dimension | 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280 |
1) 桌上型勻膠機,塗膜厚度范圍:100nm~100um;
2) 可用於光刻膠(PR),聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機物(metallo-organics),攙雜劑(Dopant),矽薄膜(Silica Film),以及大多數的有機溶液、水溶液;
3) 緊湊型設計,用戶編輯、控制、存儲、取出塗膠程序,易於操作;
4) 加速及減速速率基於設定的時間/轉速(Ramp Time/RPM value)自動計算;
5) 用戶通過勻膠機前麵板顯示屏和按鈕進行編輯、控制、存儲、取出塗膠程序,並進行實驗操作。
勻膠機有許多名稱:甩膠機、塗膠機、塗層機、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗佈機、旋轉薄膜機、旋轉塗膜機等,主要應用於溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同, 也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用於半導體、矽片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表麵塗覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
批發市場僅提供代購諮詢服務,商品內容為廠商自行維護,若有發現不實、不合適或不正確內容,再請告知我們,查實即會請廠商修改或立即下架,謝謝。