近年來，紫外線技術廣泛應用於各行各業水處理，如微電子、制藥、發電、食品和飲料、化妝品、水產業、直飲水等。紫外線技術不但可用於消毒而且也可用於降TOC（總有機碳）含量。紫外線技術的最新發展使TOC降解的效率和性能有瞭很大的提高。
在半導體制造方面，漂洗水中即使含有極微量的TOC都會對半導體芯片生產造成嚴重問題。越來越小的微集成電路芯片對超純水提出瞭更嚴格的要求，對凈水系統設計和設施工程提出瞭更大的挑戰性。因為TOC會引起矽晶片表面出現缺陷，造成電療短路。此外，有機物為微生物提供大量所需的營養，促進其生長繁殖。
利用活性碳過濾器和逆滲透（RO）系統或去離子（DI）系統可以減少一些TOC含量；然而，為瞭大量地減底TOC，通常都是用紫外線作為處理過程中的最後一步。這是簡單而又非常有效的方法。低壓石英紫外線燈185納米的放射線會產生羥基（OH）自由基，自由基能將大部分有機物氧化成二氧化碳（CO2）和水（H2O），
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