臭氧是世界公認的廣譜高效殺菌消毒劑。采用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多瞭一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣、液體中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為"最清潔的氧化劑和消毒劑"。
其反應的化學方程式為3O2====2O3
臭氧發生器常用的氣源大體可分為下列幾種：
1）幹燥空氣氣源--無油的壓縮空氣經過冷卻、幹燥、過濾處理後作為原料氣使用；
2）富氧氣源--無油壓縮空氣經過冷幹處理送入PSA空分系統將氮氣和氧氣分離，並將氧氣收集作為 原料氣（此原料氣含有惰性氣體和二氧化碳及少量氮氣，並非純氧氣所以稱為富氧源）；
3）工業氧氣源--通常使用瓶裝工業氧氣（大多適用於小型器）；
4）液氧--液態氧經過汽化器汽化減壓後送入臭氧發生器作為原料氣（常用於大型臭氧發生器）。
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