JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析機（EDS），統合於一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制，操作員隻用一隻鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。

直觀的操作界面的設計，簡明易懂便於迅速掌握操作。

單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標，營造快捷的操作環境。用戶登錄時，即可加載已註冊過的設定。

畫面上並列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分佈。

適合於多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。

3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現立體俯視圖。

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監視器，一臺用於SEM圖像觀察和另一臺用於元素分析（EDS）。一隻通用鼠標即可同時控制兩臺監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。

工廠預置中心燈絲，十分便於更換。因此，可長期保持穩定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。

真空系統使用高性能的擴散泵保證瞭潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件，體現瞭操作穩定，維護簡便的特色。