技術參數
觀察圖像: 正像
光管: Siedentoph 型 (可調瞳距：51 -
76mm), 1X 光管鏡頭、
雙目目鏡( 俯角：30o),
十字投影法、帶有TV 插板、
光通比、(目鏡/TV 插板：50/50)
目鏡 : 10X (視場直徑：24mm),
可選: 15X, 20X
轉盤 (選件): 手動或電動旋轉盤
物鏡 (選件): 從1X - 100X 的M/BD Plan Apo 物鏡
(詳見384 頁)
輪廓照明
光源: 鹵素燈泡(12V, 50W)
光學系統: 帶有可調整光圈的遠心照明系統
功能: 光強度可調、無級亮度調整
表面照明
光源: 鹵素燈泡照明選件(光纖冷光照明)
光學系統: 帶有可調整光圈的科勒照明系統
功能: 光強度可調、無級亮度調整
顯示裝置:
軸數: 2 軸或3 軸
分辨率: 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
功能: 調零、方向轉換、
數據輸出(通過 RS-232C 接口)
電源: 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
性能參數
型號 (XY 工作臺尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
貨號MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
XY 工作臺移動范圍50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動范圍150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調焦方式手動調焦(粗調焦：10mm/rev、微調焦：0.1mm/rev)
測量方法線性編碼器(2 軸型：X / Y 軸、3 軸型：X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測量精度(20oC 時) XY 軸：(2.5+0.02L)μm, L 無負載測量長度(mm), JIS B 7153
指示精度(20oC 時) Z 軸：(5+0.04L)μm, L 為測量長度(mm)
浮動功能帶有快速斷開功能的X 和Y 軸
XY 工作臺臺面尺寸280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉功能— — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
最大工件重量10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
最大工件高度150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 為區分交流電源電壓，在貨號後加上以下後綴(如：176-567A):
A 適於UL/CSA, D 適於CEE, E 適於BS, DC 適於中國、K 適於EK，無後綴適於JIS/100V
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