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[24502-0002-0001] 有機真空鍍膜掩膜板的制作方法
[摘要] 本發明公開了一種在有機電致發光器件制作過程中，用于真空鍍膜的掩膜板及其制作加工技術，它是在線切割及光刻腐蝕的基礎上，利用齒（８）、槽（９）對鎳鉻合金絲（１２）進行限位，從而形成精細的掩膜板，分辨率為３條線／ｍｍ，可實現平板顯示屏的矩陣選址。
[24502-0058-0002] 一種積木式多用途真空鍍膜機
[摘要] 本實用新型公開了一種積木式多用途真空鍍膜機，鍍膜室上匹配柱狀鍍膜源、平面陰極電弧蒸發源、平面磁控濺射靶、電阻蒸發源、離子源，各種源的接口通用性強、互換方式簡便。鍍膜機匹配與各種源相適應的多種新電源、抽真空系統、氣進氣系統、工件加熱系統、工件轉架。根據需要，各種鍍膜源和電源可以方便地互換，進行多種組合，用于沉積多種膜系的多層膜，做到一機多用。
[24502-0062-0003] 真空鍍膜機的工件三維轉動支架
本實用新型主要涉及一種真空鍍膜機的工件三維轉動支架，包括有動力輸入軸(1-1)、公轉盤支撐座(1-2)、公轉轉動軸承(1-3)、公轉盤轉動連接盤(1-4)、公轉盤(1-5)，在公轉盤(1-5)上設有工件轉盤支撐桿(13)，工件轉盤支撐桿(13)上方設有上支架(14)，工件桿(4)通過轉動支撐座(15)與上支架(14)連接，工件桿(4)上設置有工件旋轉軸(11)，其特點是在公轉盤(1-5)上設有工件自轉和工件旋轉機構，公轉盤轉動連接盤(1-4)與自轉齒輪盤(2-2)固連。本實用新型可實現工件在真空環境中公轉、公轉+旋轉、公轉+自轉、公轉+自轉+旋轉四種不同狀態的運動效果，具備靈活性、多樣性，提高鍍膜質量和生產效率。
[24502-0049-0004] 真空鍍膜機的抽氣系統
[摘要] 本實用新型提供了一種真空鍍膜機的立體抽氣系統，該系統利用一個支架將整個系統的結構、管路進行立體式配置，大大縮小了整個排氣系統的體積、節約了系統的占地面積，同時縮短了整個系統的管道線路，有效提高了泵的抽速和效率。
[24502-0014-0005] 真空濺射鍍膜機
[摘要] 一種真空濺射裝置，包括一個真空爐，其外聯接有擴散泵、機械泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵與傳動減速裝置，爐體頂部設有導氣管，真空爐為立式，爐體底部裝有弧形導軌，其上裝有由傳動減速裝置控制的可沿弧形導軌移動的靶座，真空爐的爐門為弧形。本實用新型，設備成本低，占地面積小，可以鍍各種規格的弧形材料，且成品的鍍層均勻、牢固，光潔度好，廣泛應用于建筑、裝璜等領域。
[24502-0052-0006] 真空鍍膜機用成型鍍膜靶材
[摘要] 本實用新型涉及一種適用于真空鍍膜機使用的鍍制各種光學薄膜的成型鍍膜靶材。該靶材采用與真空鍍膜機坩堝內壁形狀相符的成型塊狀結構，其結構形狀為：柱狀、圓臺狀、錐臺狀、環狀、半環狀、扇環狀、盤狀，是由超細粉狀的鍍膜材料經高壓成型后真空燒結而制成。該靶材具有密度高、晶粒細小均勻的特點，由于采用的是整體成型塊狀，因此使用時間長，能夠適應長時間地鍍制多層光學薄膜，而且在真空鍍膜后，膜厚均勻一致，重現性好，便于實現穩定批量生產。該鍍膜靶材在使用中更換方便，能夠提高鍍膜效率，提高成品率，降低生產成本，特別適用于高品質、高精度光學產品的鍍膜。
[24502-0024-0007] 真空鍍膜機中修正擋板的自動切換裝置
[摘要] 一種真空鍍膜機中修正擋板的自動切換裝置，其構成是：在采用多個膜料蒸發源和對應的多塊修正擋板的真空鍍膜機中，對每一膜料蒸發源的每一塊修正擋板設置一個傘式機械裝置，該傘式機械裝置包括在靠近膜料蒸發源真空室底板上豎直地安裝一修正擋板支撐桿，該修正擋板支撐桿的頂端通過第一軸銷連接一修正擋板安裝桿，在鍍膜機真空室底板下方靠所述的修正擋板支撐桿附近設置一氣缸，該氣缸的支軸垂直向上延伸一推桿，該推桿的頂端通過第二軸銷連接一斜桿，該斜桿的另一端通過第三軸銷與修正擋板安裝桿相連，該修正擋板安裝桿上安裝所述的修正擋板。本發明解決了修正擋板對蒸發源發射的遮擋問題，可實現多種修正擋板的切換。
[24502-0022-0008] 一種真空立式鍍膜機工件轉架
[摘要] 本實用新型涉及一種真空立式鍍膜機工件轉架，主要由動力輸入組件1、工件架自轉組件2、上法蘭支架3、上法蘭4、工件軸導向套5、上法蘭定位輪6、下法蘭組件7、下法蘭轉動組件8、定齒輪9、定齒輪吊桿10組成，其中，動力輸入組件1通過定齒輪9連接下法蘭轉動組件8，下法蘭轉動組件8和下法蘭組件7由螺栓連接，定齒輪9連接工件架自轉組件2，工件架自轉組件2連接工件軸導向套5，上法蘭支架3連接上法蘭4，上法蘭定位輪6碰接上法蘭4，工件架自轉組件2通過軸承11支撐下法蘭組件7，本實用新型把現有技術的斜面支撐改為用軸承支承的平面支撐，通過軸承滾珠的轉動減少摩擦力，與現有技術相比，具有摩擦力小、使用壽命長的優點。
[24502-0068-0009] 真空離子鍍膜機的掛桿懸掛裝置
[摘要] 本實用新型公開了一種用于真空離子鍍膜機的掛桿懸掛裝置，包括連接在真空鍍膜室內的掛架和連接在掛架下端的掛桿，掛架內部空心，其上端與真空鍍膜室連接，下端設有開口，側面設有缺口，開口的一端延伸至掛架側面和缺口相交，在掛架上端設有懸掛臺階，在懸掛狀態下，掛桿的懸掛臺階卡置于掛架下端開口的上面；在開啟真空鍍膜室懸掛鍍膜件時，操作者只需從掛架的缺口裝入掛桿，然后放下掛桿，便完成動作，而且掛架側端的缺口結構較寬，使得掛桿裝入掛架較為容易，本實用新型結構簡單，使用方便迅速，提高了真空離子鍍膜機的工作效率。
[24502-0050-0010] 內藏靜電除塵機構連續式真空鍍膜機
[摘要] 本實用新型是有關于一種內藏靜電除塵機構連續式真空鍍膜機，包含有一清潔區，內有一升降結構。一進料減壓區，兩端各設有一閘門，其中一閘門與清潔區連接。一真空鍍膜區，兩端各設有一閘門，其中一閘門與進料減壓區連接。一出料增壓區，兩端各設有一閘門，其中一閘門與真空鍍膜區連接。一取料反轉區，與出料增壓區連接，內設有一升降機構。一回流區，通反轉區及清潔區，內設有一傳送機構。
[24502-0009-0011] 立式真空濺射鍍膜機多靶鍍膜室
[24502-0066-0012] 鍍膜機防屑型抽真空口結構
[24502-0053-0013] 一種新型真空鍍膜機
[24502-0003-0014] 真空鍍膜機
[24502-0018-0015] 一種多用途真空鍍膜機
[24502-0063-0016] 一種vfd雙面真空鍍膜設備的擋板機構
[24502-0061-0017] 一種磁控濺射真空鍍膜機的自動升壓裝置
[24502-0042-0018] 真空鍍膜機加熱裝置
[24502-0041-0019] 一種卷繞式鋁-鋅鋁真空鍍膜機
[24502-0012-0020] 一種真空鍍膜機收卷裝置
[24502-0025-0021] 一種配置氣體離子源的真空離子鍍膜機
[24502-0038-0022] 鋅鋁真空蒸發鍍膜機
[24502-0008-0023] 電子顯微鏡制樣用真空鍍膜機
[24502-0034-0024] 有機真空成膜過程中樣品的自動交替鍍膜控制裝置及方法
[24502-0007-0025] 一種真空鍍膜機
[24502-0039-0026] 真空離子鍍膜機
[24502-0064-0027] 一種vfd雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補償機構
[24502-0013-0028] 一種改進的真空鍍膜機收卷裝置
[24502-0065-0029] 磁控濺射與多弧離子鍍復合式真空鍍膜機
[24502-0057-0030] 真空鍍膜機的防漏裝置
[24502-0047-0031] 有定向及自控制功能的真空鍍膜機
[24502-0006-0032] 真空鍍膜機循環裝片裝置
[24502-0004-0033] 真空鍍膜計算機控制裝置
[24502-0032-0034] 加快鍍膜機真空室達到高空度的方法
[24502-0016-0035] 軸瓦減摩層真空鍍膜機
[24502-0028-0036] 隧道式超真空鍍膜機
[24502-0035-0037] 真空鍍膜設備工件三維轉動機構
[24502-0030-0038] 高真空蒸發雙面金屬化鍍膜機
[24502-0045-0039] 真空鍍膜機用多路閥
[24502-0069-0040] 真空離子鍍膜機
[24502-0070-0041] 一種真空離子鍍膜機
[24502-0027-0042] 一種卷繞式鋁-鋅鋁真空鍍膜機
[24502-0029-0043] 鍍膜源、真空鍍膜裝置、有機el面板的制造方法和有機el面板
[24502-0043-0044] 鍍膜機的真空反應室
[24502-0005-0045] 一種真空多弧離子鍍膜機智能一體化控制器
[24502-0048-0046] 一種真空鍍膜機用加熱罐
[24502-0020-0047] 蒸發磁控真空鍍膜機
[24502-0037-0048] 新型高真空激光鍍膜機
[24502-0017-0049] 一種柱狀磁控濺射源蚌形雙室真空鍍膜機
[24502-0023-0050] 真空鍍膜機鍍件放置網框
[24502-0051-0051] 臥式電子束蒸發式真空鍍膜機
[24502-0056-0052] 高真空卷式鍍膜機構
[24502-0044-0053] 雙室真空鍍膜機
[24502-0019-0054] 金屬化木制品及專用高真空蒸發鍍膜機
[24502-0011-0055] 真空鍍膜機移動靶裝置
[24502-0015-0056] 制備金屬和陶瓷復合膜的真空離子鍍膜機
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[24502-0026-0058] 有定向及自控制功能的真空鍍膜機
[24502-0067-0059] 真空離子鍍膜機的自轉機構
[24502-0055-0060] 一種設有防漏裝置的真空鍍膜機
[24502-0060-0061] 視線外磁過濾金屬蒸汽真空弧等離子體沉積多層膜鍍膜機
[24502-0036-0062] 可調沉積速率的真空鍍膜機擋板
[24502-0001-0063] 鋅鋁真空蒸發鍍膜機
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[24502-0071-0071] 一種鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發鍍膜機
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