| 機器型號 | EP-1(立式) | EP-1(立式) | ORION-400H(臥式) | ORION-400V(立式) | HELIOS-35OH(臥式) | HELIOS-35OV(立式) |
| 量測行程（X，Y）） | 150×50 ㎜ | 200×100 ㎜ | 250×150mm | 200×800mm | 200×150mm | 200×100mm |
| Z 軸行程（調焦） | 80 ㎜ | 80 ㎜ | 100mm | 100mm | 100mm | 100mm |
| 機器精度(um) | 3+L/100 | 3+L/100 | 2.5+L/100 | 2.5+L/100 | 2.5+L/100 | 2.5+L/100 |
| 光學尺解析度 | 0.001㎜ | 0.001㎜ | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm |
| 投影屏尺寸 | 直徑312 ㎜ | 直徑312 ㎜ | 直徑400mm | 直徑400mm | 直徑350mm | 直徑350mm |
| 角度解析度 | 0.01° | 0.01° | 0.01° | 0.01° | 0.01° | 0.01° |
| 物鏡放大倍數 | 10×，20×，50×任選一組含半反鏡 | |||||
| 機器照明 | 24V/150鹵素燈 | |||||
| 數據處理器 | DC-3000中文數據處理器 | 780-MT-1000C英文處理裝置 | 780-MT-1000C英文處理裝置 | |||
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