| 測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量機器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像於一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用於電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。 | ||||
| ● X、Y、Z軸0.5μm分辨率； ● 可選配白光納米檢測模組； ● Z軸粗調/微調旋鈕； ● 同軸表面光/底光測量； ● 內建偏光量測光學模塊； ● 可量測透明材質納米級高度差 | ||||
規格型號 | MTM-1510M | MTM-2010M | ||
工作行程X、Y、Z軸 | 150*100*120（mm） | 200*100*120（mm） | ||
金屬臺尺寸 | 210*160（mm） | 260*160（mm） | ||
玻璃臺尺寸 | 354*228（mm） | 404*228（mm） | ||
光學尺分辨率 | 0.5μm | |||
示值誤差 | X、Y坐標≤（3+L/75）μm （L為測量長度，單位mm） | |||
影像系統 | 彩色1/2"CCD攝像機；640*480像素；結合測量軟件 | |||
顯微鏡系統 | 目鏡：10倍 | |||
濾光片：紅，藍，綠，白 | ||||
測量模式：反射，透射，偏光 | ||||
5孔物鏡轉換器 | ||||
物鏡放大倍率誤差 | 包括畸變在內的放大率誤差≤0.008% | |||
總放大倍數 | 50X——500X | |||
照明系統 | 透射照明光源：白光LED，亮度可調 | |||
同軸照明光源：鹵素燈，亮度可調 | ||||
物鏡 | ||||
倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
工作距離（mm） | 26.1 | 20.2 | 8.8 | 3.68 |
高度量測模塊（選配件） | 光幹涉高度量測模塊（M10-CA），高度量測分辨力0.5μm（選配） | |||
倍率：10X，工作距離5mm，光學分辨力2μm | ||||
其它參數 | ||||
外形尺寸（mm） | 590*560*850 | |||
機器重量（kg） | 100 | 110 | ||
電源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W | |||
高精度測量模式 | 快速測量模式 | |||
厚度測量范圍 | 100nm-300nm | 300nm-500nm | 500nm-3μm | 3μm-20μm |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |
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