NanoFocus μsurf basic 光學輪廓機(非接觸三維表面測量系統/3D顯微鏡)

NanoFocus μsurf basic 機臺功能齊全，結構緊湊，性價比高，並擁有超高光學分辨率和最全面廣泛的三維表面形貌分析能力。

精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的零部件，比如發動機汽缸、刀口等;
生命科學：測量stents支架上鍍層厚度等
微電子機械系統：微型器件的檢測，醫藥工程中組織結構的檢測，如基因芯片等
半導體：檢測微型電子系統，封裝及輔助產品結構設計
太陽能：電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量，制絨後3D形貌表征（單晶金字塔大小、數量、角度，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析等
紙張：紙張、錢幣表面三維形貌測量

測量時間：5~10秒
測量原理：非接觸、共聚焦
X/Y方向，平臺移動范圍：50mmX50mm，馬達驅動，分辨率：0.3μm
Z方向測量范圍：250μm，分辨率：2nm
物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)
計算機：高性能計算機控制系統，功能全面的軟件，有拼接功能，
工作電源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
材質：鋼鐵、橡膠、大理石
外型尺寸：710x270x330 mm (HxWxD)
重量：28KG
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)