光電輪廓機的應用范圍很廣,它主要用於測量各種精密加工零件表面的微觀三維結構,如表面粗糙度;零件表面的刻線;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說,如量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;矽片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。由於機器測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量等特點,並采用計算機控制和快速分析、計算測量結果,本機器適用於各級測試、計量研究單位,工礦企業計量室,精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。 |
機器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習慣; 表面微觀不平深度測量范圍 130?1nm |
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