我們單位可以代工進行單面光刻
1.掩模板尺寸：4"x4“
2.基材：2”，3”，4”具平邊的晶圓或解理片
3.曝光面積：2”，3”，4”
4.汞燈光源：350W，350nm-450nm
5.顯微鏡：10x10，20x10倍
6.曝光模式：接觸式
7.對準系統：全手動正面對準，紅外光及CCD反面對準
8.分辨率：1μm
9.正面對準精度：0.2μm
新手教學
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