● 高速/無接觸量
● 表面形狀/粗糙度分析
● 非透明/透明材質皆適用
● 非電子束/非鐳射的安全量測
● 低維護成本
專業級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
● 提供自動表面平整化處理功能
● 提供高階標準片的軟件自校功能
● 深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式
● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
● （waviness）的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據（Wafer）
● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。
● 具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能。
● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的幹涉解體軟體(ImaScan)
● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光幹涉條紋
● 垂直高度可達0.1nm
● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果
● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
● 平臺XYZ位置數顯示，使檢標的尋找快速又便利
● 具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的幹涉條紋對比。
● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。
● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。
● 具有自動佈補點功能
● 可自行設定掃描方向技術規格參數 型號 AE-100M 移動臺(mm) 平臺尺寸100*100 ，行程13*13 物鏡放大倍率 10X 20X 50X 觀察與量測范圍 0.43*0.32 0.21*0.16 0.088*0.066 光學分辨力(um) 0.9 0.69 0.5 收光角度(Degrees) 17 23 33 工作距離 7.4 4.7 3.4 傳感器分辨率 640*480像素 機臺重量(kg)/載重kg 20kg/小於1kg Z軸移動范圍 45mm , 手動細調 Z軸位置數字顯示器 分辨率1um 傾斜調整平臺 雙軸/手動調整 高度測量 測量范圍 100（um)(400um ,選配) 量測分辨力 0.1mm 重復精度 ≤ 0.1％ (量測高度:>10um)
≤10um(量測高度1um 10um)
≤ 5nm(量測高度:<1um )量測控制 自動 掃描速度(um/s) 12(最高) 光源 光源類型 儀器用鹵素（冷）光源 平均使用壽命 1000小時100W 500小時（150W） 光強度調整 自動/手動 數據處理與顯示用計算器 中央處理運算屏幕 雙核心以上CUP 影像與數據顯示屏幕 17 " 雙晶屏幕 操作系統 Windows XP(2) 電源與環境要求 AC100 --240 V 50-60Hz 環境震動 VC-C等級以上 量測與分析軟件 測量軟件 ImScan測量軟件
具VSI/ PVS/PSI 測量模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配）
PosTopo 分析軟件分析軟件 ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利業轉換和濾波，多樣的2D和3D
觀測視角圓，外形/面積/體積分析，圓像縮放、標準影像文件格式轉換
報表輸出，程序教導量測等。
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